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福州大学学报(自然科学版) V01．36
第36卷增刊 Supp．
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一种原子力显微镜中蠕变迟滞非线性特性补偿方案
肖祥丽，张承进
(山东大学控制科学与工程学院，山东济南250061)
摘要：压电陶瓷通常用于原子力显微镜(AFM)中的扫描器中，但是在无补偿开环控制中压电陶瓷在输入电压
与输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变非线性特性，使得扫描所得图像失真．为此，针对原子力显微镜x轴
的需求，采用了分步补偿的办法，先补偿蠕变特性而且可以简化迟滞补偿的算法，很大程度上减轻了图像的失
真，使整个控制算法简单，无需复杂的运算，降低了对控制系统处理器的要求，降低设备成本．
关键词：压电驱动器；迟滞特性；蠕变特性；纳米定位
中图分类号：TP273 文献标识码：A
A for and inatomicforce scanner
scheme
compensatinghysteresiscreep microscope
XIAO
Xiang—li，ZHANGCheng—jin
ofCommlScienceand
(School En#neefing，ShandongUniversity，Jinan，Shandong250061，China)
isuseda8thescannerintheatomicforce hasob—
Abstract：The actuator
piezoelectric microscope．It
vious and betweenthe andthe inthe control
creep hysteresis inputvoltage outputdisplacementopen
the distortion
without make theatomicforce
loop image seriously．For microscope
compensation，which
methodthe afterthe
X introducedthe of twocharacters
axial，we compensation separately，because
iseasiertorealize．Thismethodis torealize，
creepcompensation，thehysteresiscompensation simple
eliminatestheeffectsof and anddecreasesthe ofthe
creephysteresiseffectively
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