静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统级仿真.pdfVIP

第21 卷第 3 期 中国惯性技术学报 Vol.21 No.3 2013 年 6 月 Journal of Chinese Inertial Technology Jun. 2013 文章编号：1005-6734(2013)03-0397-05 静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统级仿真 1 3 2 1 2 1 1 肖奇军 ，李胜勇 ，陈文元 ，刘超英 ，崔 峰 ，黄 伟 ，崔海宁 （1. 广东肇庆学院 电子信息与机电工程学院，肇庆 526061 ；2. 上海交通大学 微纳科学技术研究院， 上海 200030 ；3. 厦门蒙发利科技集团，厦门 361009 ） 摘要：给出了一种基于 MEMS 技术的静电悬浮转子微陀螺，可同时测量两轴角速度和三轴线加速度； 采用力平衡原理和力矩平衡原理测量壳体输入的线加速度和角速度，即对转子实行闭环控制使转子保 持在零位，输出控制电压反映壳体输入线加速度和角速度的大小。针对转子结构，提出了一种基于模 拟 PID 技术的非集中控制策略来实现悬浮控制，建立了一种基于 Coventorware 的机电混合仿真模型， 对结构、电路和控制进行通盘考虑。通过起支仿真和加速度输入仿真可以看出，系统级仿真结果表明 了其具有仿真速度快、仿真结果准确等优点，在与实验结果的比较中证实仿真结果的准确性和有效性。 关 键 词：静电悬浮；微陀螺；悬浮控制；系统级仿真； 中图分类号：U666.1 文献标志码：A System-level simulation of levitation control for a micromachined electrostatically suspended gyroscope 1 3 2 1 XIAO Qi-jun , LI Sheng-yong , CHEN Wen-yuan , LIU Chao-ying , 2 1 1 CUI Feng , HUANG Wei , CUI Hai-ning (1. Faculty of Electronic Information and Mechnical Electrical Engineering, Zhaoqing 526061, China; 2. Research Institute of Micro/Nanometer Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China; 3. Xiamen Comfort Science Technology Group Co., Ltd, Xiamen 361009, China) Abstract: This paper presents a novel electrostatically suspended gyroscope based on MEMS technology, which can measure dual-axis angular velocity and tri-axis linear acceleration. It adopts