利用准分子激光器进行微细加工的现状及展望.pdfVIP

瓣 ／ 位 发 维普资讯 光机电信息 Ji3．№ 1996 利用准分子激光器进行微细加工的现状及展望 由于激光经射束聚焦可获 得极高 的能量 ．故 广泛地用于 各种加工 。其 中，准分子激光器 与其它波长较长 的激光器 (如 二氧化 碳激 光器 、YAG激 光 器)相 比，被认为最适于微细加 90 工 ，其特 点 ： ①被加工物为高分子材料时，采用 以烧 图 1 掩模 成像法 ． 蚀现象为主 的加工工艺。 对此 ．该公司以光 的有效利用为基本思 ② 因属短波段 ，故分辨率非常高 ，可实施 想 ，积概推进加工光学系统 的开发工作 。为 lO0~m 以下的打孔 。 此，一是将被掩模遮住的光完全用于加工 ；二 ③采用干刻加工工 艺，可使前后工序简 是将被掩模遮住的光控制在晟小限度 。具体 单化 。 的方法是利用多重反射光学系统或全息光学 采用准分子激光器进行微细加工 、尤其 系统达到上述 目的。 是近来对印刷 电路板的打孔加工引起人们的 1、多重反射光学系统 关注 。以往 采用钻孔 加工 ，要 使孔直径 在 多重反射光学系统基本结构示 于图 2， lO0．um 以下极为难办 利用准分子激光器 由振荡器射出的光束，经整形光学系统形成 时，通过采用高分辨率成像透镜 ．可实现高精 扁平射束照射在掩模上 ，掩模面上镀有介质 度的打孔加工 。 射柬整形光学秉统 介 电体掩纂 实用中存在的问题 工件 目前 ，准分子激光器投入 =]【 实际生产线 ．存在着加工成本 和生产效率相互矛盾 的问题 ， 多重反射光学幕坑 就生产效率来说 ．显然需要较 大的激光输 出，但一考虑到装 围2 多重厦射光学系统的概 图 置的基本 费用和运行 成本 ，就不能说是上策 多层膜，未通过掩模 的大部分光被无散射反 了。此外 ，尽管高精度的微细加工，可采用掩 射。掩模的对面置有反射镜 ，光通过反射镜反 模成像法 (图 1)等 ，但这种方法 ，大量的光被 射，重新照射到掩模上，这样重复 l0次以上， 掩模遮住 ，易产生光损耗 。如若掩模 的开 口通 实际通过掩模用于加工的光束的光量迅速增 光效率为 10 的话 ．那么剩下的90 便成为 加，这种光学系统对呈平面分布 的多孔打 孔 对加工无用的光 ，考虑到运行成本 ，遗是不可 时最为有效。即便是使用几十瓦级的激光振 行 的。 荡器，也可获得与使用几百瓦级振荡器时同 ·2l · 维普资讯 光机 电信息 VolJ3N．o8，I996 洋的加工建成 2．全息光学技术 采刚准分子激光器 的加工实例 对于呈局部分布少数孔 的加工 ，常常是 实施fP{L(单孔)加工 。而且还可使工件