2600W偏振耦合高效率半导体激光光源.pdfVIP

第32卷 第 10期 发 光 学 报 Vol_32 No．10 20l1年 l0月 CHINESE JOURNALOF LUMINESCENCE Oct．，z011 文章编号：1000-7032(2011)10—1036-05 2600W 偏振耦合高效率半导体激光光源 彭航宇 ，单肖楠 ，马军龙 ，付喜宏 ，佟存柱 ，王立军 (1．中国科学院激发态物理重点实验室 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：将两个中心波长为808nnl，输出功率为1500W的半导体激光叠阵，经过快慢轴准直后，利用半波片 将其中一个叠阵的偏振方向旋转90。，使用偏振分光平板的耦合功能，将两个偏振方向相互垂直的激光耦合 到一个光路。扩束后再通过焦距为 100mm的聚焦镜组聚焦，提高激光器的亮度。在工作电流为75A时，输 出功率达到了2600W，电光转换效率为48％，聚焦后的光斑尺寸为 1mm×2mm，功率密度为 130kW · cm ～ ， 可直接应用于熔覆、表面硬化等加工领域。 关 键 词：半导体激光；高效率；偏振耦合 ；偏振分光平板 中图分类号：TN248．4 PACS：42．60．一v PACC：4260 文献标识码 ：A DOI：10．3788／fgx1036 的输出功率 已达到几千瓦，美国Coherent公司推 1 引 言 出了4000W半导体激光器光源系统，光斑尺寸 半导体激光器由于效率及功率等方面的优势， 为0．51Tim×12mm，光功率密度为 66．7kw · 逐渐代替闪光灯成为固体激光器的泵浦源，通过对 cm ，但是Coherent公司采用的是直接将多个 激光器的堆叠，可以实现半导体激光阵列万瓦量级 激光叠阵并行排列，这个过程 中没有进行光束耦 的功率输出¨ 。但是由于半导体激光器波导结构 合，单纯 的提高输 出功率，没有实现亮度上的 的特点，其垂直方向的发散角大，垂直方向与水平 增加。 方向的远场图形不对称，虽然可以实现高功率输 本文采用两个20层的半导体激光叠阵构成了 出，但亮度较低。在材料加工应用中，要求功率密 高功率密度的激光器系统。每个叠阵的输出功率 度在数十kW ·C1TI 以上，而半导体激光器的功率 为 1500W，利用快慢轴准直镜对激光器进行准直、 输出尚不能达到如此高的要求。但是，将多个半导 整形，改善激光器的光束质量，两个方向的光束质 体激光器耦合成～束激光输出，就可以提高输出功 量达到57mm ·mrad×180mm ·mrad，通过偏振分 率和亮度。因此，通过光束耦合技术实现高亮度的 光平板实现两个叠阵的光束耦合，耦合后输出功率 输出就成了一个关键性的问题。为得到更大亮度 达到电光转换效率超过 48％，连续输出功率超过 的激光输出，可通过光束整形 (有折射整形法 J、 2600W。经过焦距为 100mm 的透镜聚焦后，光斑 反射整形法 以及折反射整形法 等)、偏振耦 尺寸为 1mm×2mill，功率密度为 130kW ·cm～， 合 、波长耦合 实现亮度的提高，在光斑不变的 实现功率密度的加倍，为大功率半导体激光器的工 情况下，获得较高的功率密度。 业应用提供了可行的方案。 北京工业大学采用格兰．泰勒棱镜实现了808 2 偏振耦合原理 nm半导体激光器 1kW 的功率输出，光斑尺寸为