退火温度对a-CH膜结构及摩擦学性能的影响.pdfVIP

下载本文档

9
0
约2.16万字
约 5页
2017-09-13 发布于重庆
举报
版权申诉

退火温度对a-CH膜结构及摩擦学性能的影响.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第26 卷第2 期无机材料学报 Vol. 26 No. 2 2011 年2 月 Journal of Inorganic Materials Feb. , 2011 文章编号: 1000-324X(2011)02-0209-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2011.00209 退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响 1,2 1 1 1 1 1 王永霞 , 冶银平 , 李红轩 , 吉利 , 陈建敏 , 周惠娣 (1. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 兰州730000; 2. 中国科学院研究生院, 北京100049) 摘要: 为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C:H)膜结构和性能的影响, 将a-C:H 膜在大气环境中进行高温退火处理, 并借助红外光谱、拉曼光谱、X 射线光电子能谱、3D 表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后a-C:H 膜的结构、组成和性能进行了系统地考察. 研究发现, 在较低的退火温度下(300℃), a-C:H 膜结构无明显变化, 而其内应力降低, 摩擦学性能显著提高; 在 400 ℃和 500℃下退火, 膜结构发生明显变化并伴随严重氧化, 同时摩擦学性能降低甚至完全失效. 结果表明, 退火温度的选择对a-C:H 膜的结构、组成及性能具有重要影响. 关键词: a-C:H 膜; 退火温度; 结构; 摩擦学性能中图分类号: O484 文献标识码: A Effect of Annealing Temperature on the Structure and Tribological Property of a-C:H Film 1,2 1 1 1 1 1 WANG Yong-Xia , YE Yin-Ping , LI Hong-Xuan , JI Li , CHEN Jian-Min , ZHOU Hui-Di (1. State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China; 2. Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) Abstract: Hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films were annealed in air, to investigate the effect of ambient temperature on the structure and properties of a-C:H films. After annealed a