Cr／Al双层纳米薄膜的力学性能测试及其仿真分析.pdfVIP

第46卷第 6期 真 空 VACUUM Vo1．46．No．6 2009年 11月 NOv．2009 Cr／Al双层纳米薄膜的力学性能测试及其仿真分析 李 春 ，杨 平 ，尚帅华 (江苏大学机械工程学 院微结构连接与材料实验室 ，江苏 镇江 212013) 摘 要：采用纳米压痕仪测量 Cr／A1双层纳米薄膜的力学性能 ，结合有限元仿真的手段对压痕测试进行 模拟 。通过实验测 出了双层膜的弹性模量值和硬度值随着压深h的不同而表现 出一定 的变化规律，以及 得出了溅射时由于核能粒子的轰击而形成的界面层的厚度及其力学性能特征。有 限元仿真是对纳米压痕 实验的补充 ，找出了应力主要集中在压头附近的区域 ，并且发现 了最大应力主要集中在双层膜的下层 Al 膜 中，而非上层膜 cr膜中。 关键词 ：Cr／AI双层纳米薄膜 ；纳米压痕仪 ；力学性能 ；有限元 中图分类号 ：0344．3：TB43 文献标识码 ：A 文章编号 ：1002—0322(2009)06—0063—04 Testof mechanicalpropertiesand simulatinganalysisofCr／AIbilayernanofilms LIChun，YANG Ping，SHANG Shuai—hua (LaboratoryofMaterialsMicro-StructuralIntegrity，SchoolofMechanicalEngineering，JiangsuUniversity， Zhe iang212013，China) Abstract：A nano-indenterwas applied to testing the mechanicalpropertiesofthe Cr／AIbilayernanofilms，with FEA introduced to simulatethenano—indentation procedure．Testresultsshowed thattheelastic modulusand hardnessofthebilayer nanofilms eary with theindentdepth h in accordance to a certain rule．Then，thethicknessand mechanicalpropertiesofthe layerdue to thebombardmentsofnuclearparticlesduring sputteringareobtained．Asa supplementto the interfacingnano— indentation，thefinite elementsimulation wasdonetofind outthatthestressconcentration zoneismainly around the indenter and themaximum stressconcentration isin thelowerA1layerbutnotinthe upperCrlayer． Key words：CdA1bilayernanofilm；nano-indenter；mechanicalproperties；FEM 纳米薄膜具有许多独特的性能 ，如具有巨电 样 品进行力学性能测试 ，但是 目前对于双层膜 中 导、巨磁电阻效应 、巨霍尔效应 、可见光发射等 。 膜与膜之间界面的研究相对较少 。因为膜与膜之 这些特殊的性能使其可用做气体催化材料 、过滤 间所形成的界 面具有复杂 的组织结构和力学性 器材料 、高密度磁记录材料、光敏材料等 ，从而使 能…。纳米压痕仪以其较高的载荷和位移分辨率 得纳米薄膜得到了广泛的应用 。双层膜 由于在结 (分别优于 1nN和 0．0002nm)以及对样 品近似 构