实验2 金属薄膜样品的制备及典型组织的观察.pdfVIP

实验 2 金属薄膜样品的制备及典型组织的观察 一、实验 目的 1．掌握金属薄膜样品的制备方法。 2 ．学会观察分析金属薄膜晶体的典型组织形貌。 二、金属薄膜样品制备方法院 学 用于透射电镜观察的金属薄膜厚度要求在 50~200nm 之间，有两种方法可以制成薄膜样 程 工 品：第一种方法是将薄膜从大块样品上直接截取下来；第二种方法是通过真空蒸发沉积或溶 与 学 液沉淀等方法直接制备薄膜。由于第二种方法制成的薄膜和实际金属材料的性质差别较大， 科 料 因此这里只介绍第一种方法。 材 院 学 学 大 把大块样品逐步减薄至电子束透明的厚度，一般需经历以下三个步骤：(1)利用砂轮片、 南 程 中 工 金属丝锯或电火花切割等方法从大块样品上切取厚度为 0.5mm 左右的薄块；(2)利用机械研 与 学 磨、化学抛光或电解抛光把薄块预先减薄到 0.1mm 左右；(3)通过某些特殊的电解抛光或离 科 子轰击等技术制成厚度小于 500nm 的薄片。 料 材 目前较普遍采用的金属薄膜制备过程大体是：线切割——机械研磨 （或化学抛光）—— 学 院 电解抛光。 大 学 南 程 中 工 1．线切割 与 学 线切割又称电火花切割，是使薄板或细金属丝制成的刀具和样品保持一定的间隙，利用 科 料 其间发生断续放电引起样品局部熔化并崩射出来进行的。 材 学 大 为了延长刀具的寿命，通常采用运动的金属丝 （钼丝）作为阴极，样品作为阳极。电火 南 中 花适用于一切导电的样品，在控制得当的情况下，可以得到厚度小于 0.5mm 的均匀薄片， 电火花线切割的速度，切片表面的光洁度及热损伤层的深度，取决于每次放电的能量，不同 的样品，电火花线切割引起的损伤深