原位椭圆偏振光谱研究多孔阳极氧化铝初期生长过程.pdfVIP

物理化学学报(WuliHuaxueXuebao) 2392 ActaPhys．一Chim．Sin．，2010，26(9)：2392—2396 September A【rticle】 www．whxb．pku．edu．cn 原位椭圆偏振光谱研究多孔阳极氧化铝初期生长过程 雷惊雷 张李娜 李凌杰 郑 莎 王 超 谢昭明 张胜涛 (重庆大学化学化工学院，重庆 400044) 摘要： 根据铝阳极氧化初期不同阶段A1一H2SO4体系的界面特征建立多个光学模型，并采用有效介质近似解析 了高时间分辨率的原位椭圆偏振光谱数据，详细获得铝阳极氧化初期的A1。O。一A1界面层、A120。阻挡层以及多孔 层组成、厚度变化的动态信息．根据光学模型及计算结果，可以清楚地分辨铝阳极氧化过程中的阻挡层形成、孔 洞萌生、孔洞发展以及多孔层稳定生长等 4个阶段．在多孔层稳定生长阶段，阻挡层厚度及多孔层孔隙率几乎不 变，而多孔层厚度随时间线性增长，其速率为 5．8nm ·s一． 关键词： 铝；阳极氧化；模板；椭圆偏振光谱；有效介质近似 中图分类号： 0646．54 ／nsituEllipsometricStudyontheInitialStagesofPorous AnodizationofAluminum LEIJing—Lei ZHANG Li—Na LILing—Jie ZHENG Sha W ANG Chao XIEZhao—-M ing ZHANG Sheng-T·ao (CollegeofChemist~andChemicalEngineering，ChongqingUniversity,Chongqing 400044，P，R．China) Abstract： Theinitialstagesoftheanodizationofaluminum areinfluentialduringtheprepraationofanodic aluminum oxide nanotemplates and provide all insight into their formation mechanism．The fomr ation and developmentofbohtthebarrierlayerandtheporouslayerraeinvolved．Inhtispaper，insituellipsomelricspectrawiht ahightime—resolutionwerecollected．Todeconvolutehteellipsometricspectra，severalopticalmodelswereexrtacted from htephysicalmodelsoftheA1一H2SO4interface．Usinghtesemodelsandtheeffectivemedium approximation， detailedinformationabouthtecomposition andthicknessoftheA12O3一A1interphase，A12O3barrierlayer，andporous layerwasacquired．BasedOnthedeconvolutedresultsandtheopticalmodels，4 stagesoftheporousanodizationof alumi num，i．e．，htebarrierlayergro