射线辐射对器件的影响.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 % %$$L % ， ， ， J*, 9 /* 9% SIT5B.5D %$$L （ ） #$$$=:%L$0%$$L0 $% 0 ##(#=$ +)4+ P1Q7R)+ 7R/R)+ %$$L )E8G 9 PEDK 9 7*F 9 ! 射线辐射对 器件的影响! #$ ! %’()* ’() +,-. ! 谷文萍 张进城 王 冲 冯 倩 马晓华 郝 跃 （西安电子科技大学微电子学院，宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室，西安 #$$#）