超声波强化电镀过程及改善镀层质量的机理.pdfVIP

维普资讯 2003年 8月 金刚石与磨料磨具工程 Aug、2003 总第 136期 第 4期 Diamond AbrasivesEngineering Seria1．136 No．4 文章编号 ：11306—852X(2003)04—0030—03 超声波强化 电镀过程及改善镀层质量 的机理 THE M SM oF SUPERSONIC W AVE ST刚ENG，I]E|[EI NG ELECTROPLATINGAND IMPRO~ G LAYERQUALITY 王秦生’ 杨丽荣 方 占江 (1．郑州工业高等专科学校 郑州 450007)(2．哈尔滨砂轮厂)(3．新郑电碳厂 新郑 451150河南) WangQinsheng YangLirong FangZhanjiang (1．ZhengzhouPolytechnicInstitute，zhengz／~u450007China)(2．HarbinAbrasive Plant，Harbin150000China) (3．X~nzhengElectro-carbonFactory，Xinzheng451150，hC ina) 摘要 ：在金刚石 电镀工具生产过程中，扩散步骤通常是 电镀速度控制步骤 ，浓差极化是 比电化学极化更为主要的限 制因素。超声波能够强化 电镀过程 ，提高沉积速率 ，并且改善镀层质量。阴极极化曲线测定结果证明，产生这种效果的 机理 ，从电极过程动力学观点看来 ，实质上是超声波的机械振动和空化现象在电镀溶液中对扩散层 的特殊搅拌引起的强 烈的去极化作用 。这种作用能够大大减少甚至完全消除浓差极化 ，因而允许使用大电流密度 以提高生产效率 ，同时能够 获得致密平整的良好镀层。 关键词 ：超声波；电镀；沉积速率 ；电流密度 ；浓差极化；去极化作用 中图分类号 ：TFI25．34 文献标识码：A Aht~ ：Whenmakingelectroplated diamondtools，theelectroplating speed isoftencontrollde byhtediffusionstepandmainly limitde byhteconcentrationpolarization、Supersonicwavecallstrengthenelectroplating process，increasedepositing speedandobviously improveeleetroplafinglayerquality．Theresultofcathodepolarizationshowsthattheseeffectsaleowing tohtegreatdepo lariaztioncoming from themechanicvibrating andcavitationeffectofhtesupersoniewavewhen itisshaking htediffusionlayer．rlnisdepo lariaztionCall greatlydecreaseconcentrationpolariaztionandallowlargercurrentdensityinordertoenhanceproductionefficiencyandachieveneatand highdensityelectroplatinglayeraswel1． Keywords：supersonicwave；electroplating ；depositingspeed；currentdensity；concentrationpolarization；depolarization 1 前言