激光诱导荧光方法对SiH4／N2混合气体放电等离子体的研究.pdfVIP

维普资讯 第 1O卷 第 4期 光 学 学 报 Vo1．10，No．4 ]gg0年4月 A四 直 OPTICA SINIOA April． 1。们 激光诱导荧光方法对SiH4N2混合 气体放 电等离子体的研究 吴嘉达 伍长征 李富铭 (复旦大学 物理系) 提 要 用潦光诱导荧光方法对 s．丑 ／N2淀台气体射颤放 电等离子体进行了研宄，实验 上首蒎植训到 雕日{分 子射顿放 电离擗过程 的中 产物 8i‰ 关键词：离解 等离于体；射额放电；化学气相沉积。 一 、 引 言 等离子体化学气相沉积是制备新材料和微 电子器件的一种重要工艺。Sill4放 电等 离 子体化学气相沉积是沉积无定形硅薄膜的常用方法，SillI／N2和 SiH4／NHa混台气体放 电 等离子体常被用来沉积氮化硅膜层 。但是这类等离子体过程的物理、化学机理比较复杂，目 前尚不很清楚。人们对 SiII4等离子体予以很大的注意，从8iHt分子的碰撞离解、中间物的 反应，到膜层 的形成，进行了一系列的探讨 ]。也有人进行SiE[4的光解及光解产物 的研 究 ，以期获得与 siH4等离子体的某些联系 -日’。 本工作应用激光诱导荧光方法对 SiH ／N 混合气体射频放 电等离子体进 行 了一 些探 讨 检测到尚未见极道的8 。并从实验上确认 8 是该过程的中间产物，还通过观察放 电功 率和源气体气压对 鼬 浓度的影响 讨论了siHt分子的离解通道和离解碎片的反应。 二、实 验 装 置 实验装置如图1所示。实验采用qnanfel公司的YG800型 YAG激光器泵浦 TD5O 型染料激光器及紫外扩展、 自动跟踪系统。 以YAG激光器的1．06 m激光的倍频光泵 DCM 染料，染料激光再与 1．06 m 激光混频获得线宽约为 O．9om-。，重复频率为 10pps的 紫外激光，在小波段范围内激光能量涨落 i0筠。 放 电管用硬质玻璃制成。 电极为两块平行放置的不诱钢圆盘，直 径 50mm，间隔为 21m m 。 射频频率为 10MHz。射频功率可调。但 由于条件限制，没有直接测量射频功率，而只 是以射频振荡管阳极 电流的变化来监视射频功率的相对变化。 气源为用氨气稀释至 5筠 的8iHt气体。在测量过程 中，放 电管中的气体处于稳定的流 收稿 日期 ig89年 1月 l6日 维普资讯 光 学 学 掼 l0卷 F蚺 1 可xper衄 ent arrangment 动状态，以维持等离子体颜色不变、放电区域的辉光均匀。放电管中气体的流动方佝与激， 束的方 向一致。 激光由透镜^聚焦于揉测区域。荧光由透镜山和^收集并聚焦于单色仪的入射 缝， 由BMI6256B光 电倍增管转变为 电信号，经前置放大器放大后输入示波器 观 察，或输 入 Boxcar处理。经处理的荧光信号用 }y记录仪记录。 实 验 结 果 实验中激光波长扫越 日 +一 占 。 跃迁的 (6，0)带、接收矸 。 — 。哥 跃 迁 的 (5，2)辐射带所得到的8 激光诱导荧光光谱，如图2所示。激光波长的扫描范围为 890nm 294nm，单色仪中心波长407n]n，接收带宽约2rim。由于受激光线宽的限制私 背景光的干扰，没有分辨出光谱的转动结构。 laser～ elen| (4m)