基于开关电容的电容传感器接口电路设计与测试.pdfVIP

工业仪表与 自动化装置 2012年第6期 基于开关 电容 的电容传感器 接 口电路设计与测试 邢文奇，胡红利，罗政元 (西安交通大学 电力设备电气绝缘国家重点实验室，西安710049) 摘要：电容传感器已广泛应用于压力、压差、位移、加速度、振动等非电量的精密测量，参比电容 传感器有望用于气固两相流测量等领域，而接 口电路是电容传感器应用中的核心和关键技术。基 于开关电容原理开发的电容传感器接 口电路，从原理上消除了电路中寄生电容的影响和直流偏移， 使得电容传感器的应用更加广泛。在活塞式压力校验台上，对开关电容接 口电路进行了性能测试。 结果表明，开关电容接 口电路迟滞误差为0．84％，非线性误差为 1．33％，重复性误差为 1．20％，可 应用于参比电容传感器测量系统。 关键词 ：电容传感器；开关电容 ；接 口电路 ；压力传感器；标定 中图分类号：TM934．23 文献标志码：A 文章编号：1000—0682(2012)06—0018—04 Designandtestofacapacitancesensorinterfacecircuit basedonswitchedcapacitor XING W enqi，HU Hongh，LUO Zhengyuan (StateKeyLaboratory ElectricalInsulationandPowerEquipment，XianJiaotongUniversity，Xian710049，China) Abstract：Capacitancesensorshavebeenwidelyusedintheprecisionmeasurementofpressure。dif- ferentialpressure，displacement，acceleration，vibration，etc，referencecapacitancesensorsareexpected forgas—solidtwo—phaseflow measurement，andinterfacecircuitisthecoreandthekeyofthecapacitance sensorapplications．A developedcapacitancesensorinterfacecircuitbasedontheprincipleofswitched capacitorcanovercometheeffectsofstraycapacitanceandbaselinedrift inthecircuit，whichmakesthe applicationsofthecapacitancesensormoreextensive．Moreover，theperformancetestingoftheswitched— capacitorinterfacecircuitisfulfilledon thepistonpressurecalibration stage．Theresultsshow thatthe switched—capacitorinterfacecircuithysteresiserroris0．84％ ．nonlinearityerroris1．33％ ．andrepeat— abilityerroris1．20％．Itcanbeappliedinthemeasurementofpulverizedcoalconcentration． Keywords：capacitancesensor；switchedcapacitor；interfacecircuit；pressuresensor；calibration 等非电量的测量中。但连接电容传感器敏感元件的 0 引言 接 口电路 (信号调理电路)技术却相当的落后，诸如