微压力接触式台阶仪测量误差校正技术研究.pdfVIP

第35卷第4期 长春理工大学学报 (自然科学版) V0l_35 N0．4 2012年 12月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology (NaturalScienceEdition) Dee．2012 微压力接触式台阶仪测量误差校正技术研究 袁会敬 ，宋忠华 ，秦旭磊 (1．河北省激光研究所，石家庄 050081；2．长春理工大学，长春 130022) 摘 要：微压力接触式台阶仪是一种二维形貌检测仪，针对汽车金属缸垫等薄片型金属板冲压零件的表面尺寸测量研制而 成。本文从工作原理出发，分析了影响系统精度的三个原因：测量臂旋转误差，光学系统畸变．．工件倾斜影响。通过软件 校正和参数补偿，提高了系统测量精度。实际测试证明，误差校正能够提高仪器测试精度 ，仪器最小分辨率能达到2 m ， 测量重复精度达到了5／zm 。 关键词 ：台阶仪 ；光学畸变；误差校正；重复精度 中图分类号：THl24 文献标识码：A 文章编号：1672-9870 (2012)04-0053-03 ResearchonM icro——pressure——contactLe、vel M easurementErrorCorrectionTechniques YUANHuijing，SONGZhonghua，QIN Xulei (1．HebeiInstituteofLaser，Shijiazhuang050081；2．ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022) Abstract：M icro——pressure——contactsurface profilometer is amorphology detector oftwo demension．It is developed by the surface size measurementofthin sheetmetalstamping parts such asautomobile metalcylindercushion．Itstudied from workingprinciplein thisarticle．Threereasonsthataffectedtheprecision ofsystems isanalysed ：theerrorofmea— suring arm ratation，opticalsystem distortion，workpiece tiltinterference ．By thesoftwareCOlTection andparametercorn— pensation，system measurementaccuracy was improved．Itwasalso proved thatprecision otequipmentscan bebetter after the error correction， the instrumentminimum resolution can achieve 2 m and the measurementrepeatability achieve 5hem ． Keywords：levelmeasurement；opticaldistortion；errorcorrection；repeatability 目前 ，国内外台阶尺寸检测采用的方法有光学 新换代慢，限制了企业的发展。 法 、接触法等。其中光学法普遍采用激光测量法和 微压力接触式台阶仪针对低成本尺寸检测技术 成像法，激光法采用激光反射或干涉实现尺寸测量， 制约精度的瓶颈问题进行专项研究，分析了影响系 对被测工件的表面要求较高，应用中具有一定的局 统精度的三个原因，并通过则量臂旋转角度补偿技 限性。成像法采用高像素的CCD实时成像系统，并 术、工件表面倾斜校正技术和光学系统图像畸变校 配合高水平的实时变焦及聚焦光学系统，测量视野 正技术，降低了系统误差，提高了系统的测试精度。 小、测量速度慢，同时系统造价非常高昂，一般简单