九步相移抗串扰算法的相移误差分析.pdfVIP

第35卷第4期 长春理工大学学报 (自然科学版 ) Vo1．35 No．4 2012年 12月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology (NaturalScienceEdition) Dec．2012 九步相移抗串扰算法的相移误差分析 方超 (中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 130033) 摘 要：在横向剪切干涉仪 中，使用一种9步相移算法来消除零级衍射光对干涉信号的影响。为了分析相移误差对该9步相 移算法相位复原精度的影响，本文通过建立理论模型，推导近似的相位复原误差函数，分析 了相位复原误差与相移误差的 关系的特性，结果表明这种算法的相位复原误差随着相位角的变化成正弦变化，并且该算法对相移误差不敏感，具有很强 的适应性。同时这种9步数相移剪切干涉算法的相位复原误差函数存在两个奇点，相移误差接近奇点时，相位复原误差迅 速增大。通过分析奇点位置，对控制相移误差和提高相位复原精度具有指导作用。 关键词：横向剪切干涉仪；九步相移算法；相移误差； 中图分类号：0043 文献标识码：A 文章编号 ：1672-9870 (2012)04～0021-03 TheAnalysisofPhaseShiftingErrorina9SteP：Phase ShiftingAlgorithm FANG Chao (StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics ChineseAcademyofScience，Changchun130033) Abstract：A 9 step phase shifting algorithm isused to eliminate theundesired zero ordereffect in the lateralshearing interferometer．In order to analyze the impactofthe 9-step phase shift algorithm phase reconstruction accuracy with phaseshifting error，the approximatephasereconstruction errorfunction isderived through theestablishmentofatheo— reticalmode1．The characteristicsofphase restored errorwith phase shifting errorareshown in thispaper．The results showed thatphasereconstruction error ofsinusoidalchangewith thephase angle，thealgorithm isnotsensitive to the phase shifting errorand it ishighly adaptive．There are two singularpoints in thereconsturction errorfunction，phase shifterrorclosetothesingularity，thephasereconsturction errorincreasesrapidly．Byanalyzingthepositionofthesingu— larity，itisbenefitto improvetheaccuracy ofphasereconstruction． Keywords：lateralshearing interferometer；ninestepphaseshiftingalgorithm；phaseshiftingerror； 近年来，随着半导体产业的发展