磁性薄膜电磁参数测试技术.pdfVIP

磁性薄膜 电磁参数测试技术 陈雪飞 郭高凤 周 扬 李 恩 (电子科技大学电子工程学院，成都 611731) 文 摘 扼要介绍了近 15年国内外在磁性薄膜材料 电磁参数测试方法的概况及技术特点，这些方法主要 包括带状线法、微带线法、波导法及共面波导法、终端 阻抗及短路法和谐振腔法。 关键词 磁性薄膜，电磁参数，网络参数法，谐振腔法 MeasuringMethodsofElectromagneticParametersofMagneticThinFi]In Material ChenXuefei GuoGaofeng Zhourang LiEn (InstituteotElectronicEngineering，UniversityofElectronicScienceandTeeh．ofChina，Chengdu 611731) Abstract In thethesis，themeasuringmethodsofelectromagneticparametersofmagnetic thin film and the technicalfeaturesinthelast15 years aresummed up，which includestrip—linemethod，micro—strip line method， waveguidemethod，coplanarwaveguidemethod，terminalimpedancemethod，terminalshort—circuitmethodandreso— nantcavitymethod． Keywords Magneticthinfilm ，Electromagneticparameters，Networkparametermethod，Resonantcavitymethod l 引言 由WalterBarty提出的 j。1993年，A．Fessant等用 磁性薄膜主要是指 由过渡元素铁、钴、镍及其合 带状线法在室温下 3MHz～3GHz内对 CoZr的非 晶 金等能够直接或间接产生磁性的物质来制备的薄膜 ， 薄膜(0．4～5Ixm)进行了磁导率的测量 (图 1)。 厚度一般在几十个纳米微米至几微米之间。随着这 将玻璃基片上的CoZr膜切割成条状，然后装入带状 种薄膜材料在隐身技术、微波通信、电子对抗、电磁兼 线夹具中，使用网络分析仪测量其S参数。由于样品 容等领域中的广泛应用，磁性薄膜的微波特性的测量 体积小，对带状线内场结构影响较小，可近似认为传 和表征已成为该领域前沿课题和热点课题 。国外对 输的是准TEM模式。采用格林函数法和变分法对 磁陛薄膜材料 电磁参数在微波频段下的测试工作 已 Laplace方程求解 ，结合传输线的阻抗和 S参数，利用 开展了十多年，在 国内也开展了相应的研究工作，并 迭代法可解 出薄膜复磁导率。这种方法具有测试频 取得 了一定 的成果 。 带较宽，精度较高，操作比较简单的优点，适合于损耗 在微波和毫米波段，材料的电磁参数测试方法按 较低的薄膜材料的测量。 测量原理可分为网络参数法、谐振腔法两大类…。 对磁性薄膜材料的电磁参数的测试，常用的方法为网 络参数法，即通过测试放置有被测薄膜材料的微波传 输线的散射参数，计算出被测材料的电磁参数 。所采 用的传输线的类型有：带状线、微带线、矩形波导、共 面波导及同轴线等。对于薄膜的谐振腔法测试，目前 已公布的国内外相关技术还不完善。本文扼要介绍 各种测量方法 。 2 网络参数法 (a) 加载样品的测试设备 2．1 带状线法 采用带状线测试材料的电磁参数的方法最早是 收稿 日期：2009—09—20 作者简介：陈雪飞，1985年出生 ，硕士研究生 ，主要