点衍射波前位相的测评.pdfVIP

第 18卷 第 11期 光学 精密工程 Vo1．18 NO．11 2010年 11月 andPrecisionEngineering NOV．2010 文章编号 1004—924X(2010)1卜239008 点衍射波前位相的测评 马冬梅 ，陈土泉 。 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：提出一种检测点衍射干涉仪关键部件针孔所产生的衍射光学波前的方法。介绍了点衍射波前的产生原理，分析了 fl,．K质量状态、照明光路调整状态与波前各个像差分量之间的关系。基于信息光学基础理论 ，采用傅里叶变换和迭代算 法 ，采集针孔衍射图像并进行计算分析 ，实现对衍射波前的位相复原 以获得波前信息 。阐述 了测试方法的理论依据和计 算公式，应用研制 的位相复原分析计算软件测试并分析 了实际采集的点衍射图像 ，通过 l5次的迭代 ，输出的位相值逐渐 收敛 ，图像误差因子下降到 o．12。 目前，该方法已用于对针孔 的筛选和针孑L照明系统的装调 中，实验结果证 明了该测试 方法 的可行性 。 关 键 词 ：点衍射 ；波相差 ；傅 里叶变换 ；位相复原 ；迭代算法 中图分类号 ：0436．1：TH744．3 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2390 Testandevaluationofwavefrontphaseofpointdiffraction MA Dong—mei．CHEN Tu—quan ’。 (1．ChangCtlUtl[nstituteofOptics，FineMechanicsandPhysic， ChineseAcademyoJSciences，Changchun130033，China； 2．GraduateUnive‘rsityo／’ChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：A testingmethodwasproposedforthediffractionwavefrontproducedbyapinholemounted inapoint～diffractioninterferometer．Theproducing principleofthepointdiffraction wavefrontwas presented，andtherelationamongthepinholestates，illuminationadjustmentandthewavefrontaber— rationwasanalyzed．()nthebasisofthefundamentaltheoryofinformationoptics．theFouriertrans— form andaniterativealgorithm wereusedtocalculateandanalyzethepinholediffuseimage，retrieve thephaseofdiffractionwavefrontandthen to obtainthewavefrontinformation．Therelatedtheory wasdiscussedandthemeasuredpointdiffractionimagewasanalyzedthroughacomputingsoftwareof phaseretrieva1．Resultsindicatethattheoutputphasetendstoaconvergenceafterabout15itera— tions，andtheimageerrorfactorhasdroppedto0．12．Thetestingmethodhasbeenappliedtothese— lectionofpinholesand theassembl