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第 14卷第 6期 功能材料与器件学报 Vo l14 ,No6
2008年 12 月 JOURNAL OF FUNCTI ONAL MA TER IAL S AND D EV ICES D ec. , 2008
文章编号 : 1007 - 4252 (2008) 06 - 1039 - 05
基于低温直接键合的血细胞计数芯片结构制备
彭平 ,廖广兰 ,汤自荣 ,史铁林 ,林晓辉 ,刘世元
(华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室 ,武汉光电国家实验室 ,武汉 430074)
摘要 :研究了一种新颖的微流管道血细胞计数器的结构及其工作原理 ,采用流体动力学对其液体分
层流动特性进行了仿真分析 ,结合图形制备和低温直接键合工艺制作了硅基微流体管道血细胞计
数器结构 ,并采用红外透射方法对微流体管道结构进行了检测 。对封闭管道的流通性及结构的键
合强度也进行了测量 。研究分析表明 ,采用上述工艺制备的微流体芯片结构与电子器件兼容性好 ,
具有良好的化学惰性和热稳定性 ,而且管道结构规则 ,精度高 ,键合界面层薄 ,具有较好的应用前
景 。
关键词 :血细胞计数器 ,微流管道 ,低温直接键合
中图分类号 : TN 454 文献标识码 : A
Fabr ica tion of m icro flow cy tom eter s structure ba sed on
low tem pera ture silicon wafer d irect bon d in g
Peng P ing, L iao Guanglan , Tang Zirong, Sh i Tielin , L in X iaohu i, L iu Sh iyuan
( State Key L aboratory of D igital M anufactu ring Equ ipm en t and Techno logy,
Huazhong U n iversity of Science Techno logy, W uhan N ational L aboratory
for Op toelectron ic s, W uhan 430074 , Ch ina)
A b stract: The structure and p rincip le of a novel m icro flow cytom eters is introduced, and then flu id delam
ination of the liqu id in the structu re is simu lated. W afer direct bonding comb ined w ith standard p attern ing
p roce sses are u sed to fabricate silicon based m icro flow cytom eter. The encap su lated m ico - flu id channel
structure is tested and investigated under the infrared m icro scop e and scann ing electron m icro scop e. The
resu lts indicate that, a very th in interface layer and h igh bond quality is ob tained. The b
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