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维普资讯
2005年 11月 润滑与密封 NOV．2005
第6期 (总第 172期) LUBRICATION ENGINEERING No．6 (serialNo．172)
不同材料的准分子激光修饰表面形貌的分形表征
李小兵 刘 莹
(南昌大学机电工程学院 南昌330029)
摘要：采用准分子激光加工方法，在相同的工艺参数下加工了脆性材料 (A1O 陶瓷)和塑性材料 (不锈钢、
孽Q235钢)试件。采用分形理论研究了准分子激光加工的不同材料表面的分形特征，通过结构函数法计算了表面微观形
貌的分形维数。结果表明：准分子激光加工的不同材料的表面形貌具有不同的分形特性，在相同的加工条件下AI0，陶 ：
毒 瓷材料表面的分形维数大于不锈钢、Q235钢等塑性材料表面的分形维数，表明脆性材料和塑性材料具有不同的准分子
妊激光加工属性；准分子激光加工表面的分形维数随着激光扫描速度的增大而减小，随放大器电压和脉冲频率的增大而增 帑
大，表明可以通过改变加工参数得到不同的分形维数表面。
关键词：准分子激光加工；工艺参数；表面形貌；分形表征
中图分类号：TB302 文献标识码：A 文章编号：0254—0150 (2005)6—049—3
FractalCharacterizationofDifferentMaterials
ProcessedbyExcimerLaser
LiXiaobing LiuYing
(CollegeofMechanical＆ElectricalEngineeringofNanchangUniversity，Nanchang330029，China)
Abstract：Onthesameprocessingparameters，somematerialswhichareA1203ceramic，stainlesssteel，andQ235steel
wereprocessedbyexcimerlaser．Thefractalcharacteristicsofsurfacesofvaryingmaterialswerestudiedwithfractaltheory，
andfractaldimensionsofthesesurfaceprofileswerecomputedwithstructuralfunctionmethod．Theresultsshowthatthere
aredifferencesin thesurfacetopographyofvaryingmaterialsprocessed byexcimerlaser，andthefractaldimension of
A12O3ceramicsurfaceislargerthanthatofstainlesssteelandQ235materialssurfaces．Thefractaldimensionisrelationto
varyingmaterialsaswellasprocessingparameters．Forexample，thefractaldimensiondecreaseswiththergowingofexci-
metlaserscanningspeed，andincreaseswiththegrowingoftheamplifiervoltageandpulserfequencyofexcimerlaserin-
strument．Therefore，fractaldimensioncanbeusedtocharactertheprocessingsurfacesofvaryingmaterials．
Keywords：excimerlaserprocessing；processingparameters；surfacetopography；fractalcha
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