纳米金刚石膜———一种新的具有广阔应用前景的CVD 金刚石.pdfVIP

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2017-09-13 发布于重庆
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第卷第期人工晶体学报 ! # $% ’ ! (% ’# 年月， #))# * +,-.(/0 ,1 23(456478 8.324/02 /9:; #))# !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 纳米金刚石膜———一种新的具有广阔应用前景的!# 金刚石韩毅松，玄真武，刘尔凯，侯立（北京天地东方超硬材料股份有限公司，北京 )))）摘要：以氢气为主要反应气体生长的8$= 金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用。当晶粒组成降到纳米级时，金刚石膜会表现出许多优异的性能，具有广阔的应用前景。与通常的8$= 法生长金刚石的工艺不同，氩气在纳米金刚石的生长过程中发挥着重要作用。纳米金刚石的鉴定和评价是纳米金刚石研究中的重要部分。关键词：纳米金刚石；化学气相沉积；金刚石 8$= 中图分类号：文献标识码：文章编号：（） ,** / )))?@A #))# )#)@)B $%’()*+,%--./ #.%0’1 2.-0———3 $/4 5.1 ’6 !# #.%0’1 2.-0 4.,7 8.1/ 399-.(%,.’+ :)’+9/(,+ . ,7/ 2;,;)/ ，，， !# $%’()* +,# -./)01 23, 4567% !8, 2% （，，，） CD;E;FG 4;HFI; ,:;DFJ 2K9D:HL:HM;ND OHJD:;HM 8% ’ 0JI ’ CD;E;FG ))) 8P;FH （，） 9/:/%;/ @ #(;/=/5 #)) 7::/?@/ ) A/:/=/5 #)) ：， 3+,)%(, QPDF R:SMJH;JD M;TD %U 8$= I;HV%FI U;VM ;M R%FJ:%DI J% FHF% DND I;HV%FI U;VM DWP;L;J M%VD %KJMJHFI;FG UDHJK:DM R%V9H:DI X;JP V;R:%R:SMJH;FD I;HV%FI U;VM ;F JD:VM %U 9PSM;RH HFI RPDV;RH HM9DRJM ’ (%J M;V;H: J% R%FNDFJ;%FH OY8$= VDJP%I（），