基于非球面能动抛光盘变形优化.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ １ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ １ Ｊａｎ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０１０００１０７ 　 基于犘犣犜的非球面能动抛光盘的变形优化 ，， １２４ １ ３ １ １ 胡自强 ，凌 宁 ，潘君骅 ，饶长辉 ，姜文汉 　 （ 中国科学院 成都光电技术研究所，四川 成都 ； 中国科学院 研究生院，北京 ； １． ６１０２０９ ２． １０００３９ 苏州大学 现代光学技术研究所，江苏 苏州 ； 烟台大学 光电信息学院，山东 烟台 ） ３． ２１５００６ ４． ２６４００１ 摘要：基于ＰＺＴ压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘，能够在 ＰＺＴ驱动器的作用下改变面形，用于中小口径非球面镜 加工。研制了一个口径 、含 个 驱动器的非球面能动抛光盘，用于口径为 、 、顶点 １００ｍｍ １９ ＰＺＴ ３５０ｍｍ 犽＝－１．１１２１５５ 半径为 ８４０ｍｍ的双曲面镜的加工实验。为研究 ＰＺＴ压电陶瓷驱动器迟滞效应对非球面能动抛光盘输出面形的影响， 实测各 ＰＺＴ压电陶瓷驱动器的电压位移特性曲线，用基于径向基函数的神经网络算法建立了各 ＰＺＴ压电陶瓷驱动器 位移输出特性的数学模型并实施补偿，实测了各 ＰＺＴ压电陶瓷驱动器迟滞补偿前后的位移输出值。最后，利用有限元 分析方法，得到了迟滞补偿前后非球面能动抛光盘的输出面形 以及剩余残差 分别为 和 。 ＲＭＳ ＲＭＳ １．９１０ ｍ ０．３４２ ｍ μ μ 通过补偿各 ＰＺＴ压电陶瓷驱动器的迟滞效应，非球面能动抛光盘输出面形精度得到了提高，剩余残差 ＲＭＳ减少了 ８２％。 关 键 词：非球面镜；非球面能动抛光盘；迟滞效应；径向基神经网络 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ７０３ＴＱ１７１．６８４ Ａ 　　 犗狋犻犿犻狕犪狋犻狅狀犮狅狀狋狉狅犾狅犳犘犣犜犪犮狋狌犪狋犲犱犱犲犳狅狉犿犪犫犾犲犪狊犺犲狉犻犮狅犾犻狊犺犻狀 犾犪 狆