AlSb多晶薄膜材料的性能研究JournalofInorganic.pdfVIP

第２４卷 第３期 无 机 材 料 学 报 Ｖｏｌ．２４，Ｎｏ．３ ２００９年５月 　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＩｎｏｒｇａｎｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓ 　Ｍａｙ，２００９ 文章编号：１０００３２４Ｘ（２００９）０３０５１７０４ ＤＯＩ：１０．３７２４／ＳＰ．Ｊ．１０７７．２００９．００５１７ ＡｌＳｂ多晶薄膜材料的性能研究 宋慧瑾，贺剑雄，武莉莉，郑家贵，冯良桓，雷智 （四川大学材料科学与工程学院，成都６１００６４） 摘 要：采用共蒸法制备了新型ＡｌＳｂ多晶薄膜．通过ＸＲＦ、ＸＲＤ、Ｈａｌｌ测试及电导率温度关系等研究了ＡｌＳｂ多晶薄膜 的组分、结构及性能．分析表明，刚沉积的ＡｌＳｂ薄膜为非晶相，在５４０℃以上退火转变为ＡｌＳｂ相，转变的程度取决于退 火的温度及Ａｌ、Ｓｂ的原子配比，其中Ｎ ∶Ｎ 为４７．２∶５２．８，５８０℃退火后的薄膜多晶转变最为明显，结晶度较高；测试 Ａｌ