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可用于沉积透明导电氧化物薄膜的柔性衬底研究进展 ／刘 丹等 ·43 · 可用于沉积透明导电氧化物薄膜的柔性衬底研究进展 刘 丹，黄友奇 (中国建筑材料科学研究总院，北京 100024) 摘要 柔性衬底表面沉积TCO薄膜具有许多独特的优点且应用广泛。但柔性衬底存在不耐高温的缺点，如 何选择合适的柔性衬底，在表面沉积TCO薄膜过程中至关重要。简单介绍了各种柔性衬底的相关性能，阐述 了当前 国内外在该领域中各柔性衬底的研究成果，展望了未来柔性衬底的选择及应用趋势。 关键词 柔性衬底 透明导电氧化物薄膜 柔性透明导电氧化物薄膜 ResearchProgressinFlexibleSubstratesUsedforDepositing TransparentConductiveOxideCoatings LIU Dan，HUANG Youqi (ChinaBuildingMaterialsAcademy，Beijing100024) Abstract TCO coatingsdepositedonthesurfaceofflexiblesubstrateshavemanyspecialadvantages，andare usedinmanyfields．Butitalsohaveoneshortage，whichisnottoendurehightemperature，SOitisveryimportantto chooserightflexiblesuhstratesfordepositingTCOcoatings．Therelatedpropertiesandforeignanddomesticresearch progressofflexiblesubstratesareintroduced，andtheprospectoftheflexiblesubstrateschoosingandpre-treatingare given． Keywords flexiblesubstrates，TCOcoatings，flexibleTCO coatings 透 明导 电氧化物薄膜 (Transparentconduetiveoxide 温，并且柔性衬底和表面沉积的TCO薄膜的热膨胀系数严 coatings，TCO)具有优良的光电性能，随着研究的进行，膜层 重不匹配，在较大的热温差作用下，柔性衬底和 TC0薄膜界 材料不断更新。但是，由于其衬底大部分是传统的硬质材 面间应力大、粘附力弱，易导致 TCO薄膜导电性恶化、翘 曲、 料，如玻璃、陶瓷等，极大地限制了TCO的发展。相比之下， 褶皱、开裂甚至无法成膜等。因此，选择合适的柔性衬底对 柔性衬底(Flexiblesubstrate)因具有可挠 曲、质量轻、不易破 制备出性能优异的TCO薄膜至关重要。 碎、易于大面积生产、便于运输等优点，正在逐渐取代传统的 合适的柔性衬底材料一般需要满足 3个条件_1]：(1)材 硬质材料。在柔性衬底上镀TCO，可以将两者优点集于一 料透明性好；(2)薄膜的热膨胀系数与柔性衬底材料的热膨 身，既可用于制造柔性发光器件、塑料液晶显示器和柔性衬 胀系数匹配；(3)具有一定的耐温性，以避免在膜的沉积过程 底非晶硅太阳能电池、透明电磁屏蔽及触敏覆盖层等，又可 中受到损伤 。 作为透明隔热保温材料用于塑料大棚、汽车玻璃和民用建筑 2 柔性衬底表面沉积 TCO薄膜的研究进展 玻璃贴膜 。柔性衬底表面TCO薄膜可望成为硬质衬底材料 的更新换代产品，有着更广泛的应用。 由于柔性衬底和TCO薄膜优异的特性，各