300mm平面标准镜装卡结构的关键参数.pdfVIP

第4卷 第 3期 中国光学 V01．4 No．3 2011年 6月 ChineseOptics June2011 文章编号 1674—2915(2011)03-0264-07 300mm平面标准镜装卡结构的关键参数 田 伟，王汝冬，王 平，隋永新，王立朋 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033) 摘要 ：为了实现大口径平面标准镜的高精结构装卡，对其在重力作用下的面形变化进行了研究。首先，对结构胶的有限 元建模进行了理论分析 ，建立了大口径平面标准镜胶结装卡结构有限元模型。然后，分析了不同胶点数量及分布 、不同 胶接面积以及不同镜框支撑方式等关键结构参数对参考面面形的影响。最后，设计了大口径平面标准镜胶结及支撑的 结构。结果表明，采用胶点直径为5Him，12×3胶点分布形式胶结时，参考面面形 的PV值为24．06nnl，RMS值为 6．78nm，满足 了大口径平面标准镜面形精度的要求。 关 键 词：光学检测；球面标准镜；参考面；有限元法 中图分类号：TN305．7；TH703 文献标识码：A Key structuralparametersof300mm aperturereferenceflatmirror TIAN Wei，WANG Ru—dong，WANG Ping，SUIYong—xin，WANG Li—peng (StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanics andPhysics，ChineseAcademyOfSciences，Changchun130033，China) Abstract：Inordertodesign the structuresoflarge—aperture reference flatmirrorswith high—precision，the shapesofalarge—aperturereferenceflatmirrorwerestudiedundergravitationalconditions．Firstly，theestab— lishingmethodofthestructureadhesivebyfiniteelementanalysiswaselaborated，andthefiniteelementmodel oflarge．aperturereferenceflatmirrorsupportedwith adhered spotswasestablished．Then，theinfluencesof’ differentnumberofadheredpointsandpointdistribution，differentsizesofspotsandsupportschemesonthe shapesoflarge—ape~urereferenceflatmirrorswereresearched．Finally，thestructureforlarge—apertureflat minorsupposedwithadhered spotswasdesigned．Theexperimentalresultsindicatethatbysupport scheme with12×3distributedand5mmdiameteradheredspots，thepeaktovalley(PV)valueandRMSvalueofthe referencesurfaceisonly24．06nm and6．78nm，respectively，whichsatisfiestherequirementofshapepreci— sionofthelarge—ape~urereferenceflatmirror． Keywords：opticaltest；referencespheremirror；referencesurface；finiteelementmethod