超声椭圆振动化学机械抛光原理与实验系统.pdfVIP

第4O卷第 6期 南 京 航 空 航 天 大 学 学 报 Vo1．40No．6 2008年 12月 JournalofNanjingUniversityofAeronauticsAstronautics Dec．2008 超声椭圆振动化学机械抛光原理与实验系统 杨卫平h 徐家文 吴勇波。 (1．南京航空航天大学机电学院，南京，210016； 2．江西农业大学工学院，南昌，330045；3．日本秋 田县立大学机械智能系统工程系，秋 田，015—0055) 摘要 ：介绍了抛光工具超声椭圆振动产生的基本原理，并实际测试了抛光工具的椭圆运动特性。从理论上分析 了 在抛光工具上加入超声椭 圆振动后 ，对改善和提高抛光效果的作用机理 。在上述研究工作基础上 ，建立 了超声椭 圆振动辅助抛光实验 系统并进行 了实验研究。结果表明，该超声椭圆振动辅助抛光法对硅片抛光表面质量、材料 去除率均有较显著的改善。 关键词：超声；椭圆振动；化学机械抛光；复合抛光 中图分类号 ：TH16 文献标识码 ：A 文章编号 ：1005—2615(2008)06—0753—05 Chemical—M echanicalPolishingPrincipleandExperimentalSystem of UltrasonicEllipticVibration YangWeiping ～，XuJiawen ，W uYongbo。 (1．CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，NanjingUniversityof Aeronautics＆Astronautics，Nanjing，210016，China； 2．CollegeofEngineering，JiangxiAgriculturalUniversity，Nanchang，330045，China； 3．DepartmentofMachineIntelligenceandSystemsEngineering，AkitaPrefecturalUniversity，Akita，015—0055，Japan) Abstract：Theprincipleoftheultrasonicellipticvibrationproducedbypolishingtoolisintroducedandel— lipticmotioncharacteristicsofthepolishingtoolaretested．Thentheworkingmechanism ofultrasonic ellipticvibrationforimprovingthepolishingqualityisanalyzed．Finally，basedontheaboveestablished testingsystem ofultrasonicellipticvibrationassistedpolishing，experimentalinvestigationsareconduct— ed．Experimentalresultsshow thatthesiliconwa{erpolishingwiththenew methodonsur{acequality， andmaterialremoveratearebetterthanthatofwithoutpolishing． Keywords：ultrasonics；ellipticvibration；chemicallymechanicalpolishing；integratepolishing 硅片无法使用，如果发生在硅片抛光的最终阶段， 引 口 还可能导致价格 昂贵的加工设备受损 ，和容易使抛 为适应半导体工业的发展需要 ，硅片直径不断