超纯氨（99．99999％）净化技术的最新研究进展.pdfVIP

维普资讯 第25卷第1期 低 温与 特 气 Vo】．25。Nn 1 2007年 2月 Low TemperatureandSpecialtyGases Feb．，2007 超纯氨 (99．99999％)净化技术的最新研究进展 孙福楠，吴江红，冯庆祥 (光明化工研究设计院，辽宁大连 甘井子 甘北路34号 116031) 摘要：随着LED的飞速发展，作为重要原材料的高纯氨的纯度已达到7N(99．99999％)，传统的净化方法已成为初级 预处理手段。介绍了当今世界最先进的氨净化方法，旨在提高我国超纯氨国产化水平 ，以满足中国LED生产的需要。 关键词：氨；净化；催化 ；吸附 中图分类号：TQ117 文献标识码：A 文章编号：1007—7804(2007)01-0001-03 TheLatestAdvanceinTheTechnologyofPurifying Ultra—HighPurityAmmonia SUNFu-nan，wUJiang-hong，FENGQing-xiang (GuangmingResearch＆DesignInstituteofChemicalIndustry，Dalian116031，China) Abstract：WithrapiddevelopmentofLED，thepurityof highpurityammoniausedas importantrawmaterialreachto7N， traditionalpurifyingmethodshavebeenprimarypretreatmemtmenas．Aimingatincreasingnationalizationdegreeofultra- highpurityammoniainChina，themostadvancedmethodsofpurifyingammoniaintheworldareintroducedinordertomeet theneedsofproductionof LED inChina． KeyW ords：ammonia；purify；catalysis；adsorption l1 -刖．‘ -吾 制造技术将发生质的飞跃 ，其上端原材料的氨必须 达到超高纯度，否则 IC及 LED将出现 “无米之 在半导体生产工艺中，氨(NH，)同硅烷 (SiH) 炊”的境地，为此，发达国家总是作到 “兵马未 一 起发生反应生成氮化硅膜；在 MOCVD设备上， 动材料先行”，在这一点上同我国形成了巨大的反 氨同三甲基镓作用在蓝宝石上通过汽相生长形成氮 差。为了将氨提纯到7N (见表 1所示)，近几年 化镓发光二极管即LED。随着微电子产业的迅猛 出现了许多先进净化技术。为便于了解国内外NH， 发展，特大规模集成电路 (ULSI)及发光二极管 净化技术的发展方向，对此方面内容进行论述。 表 1 国外某公司 “白氨”纯度指标 (TotalPurity99．99999％ VaporPhaseImpurity) ContaminantsSpecifications ContaminantsSpecifi