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- 2017-09-12 发布于山东
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中国科技论文在线
退火温度对 NdFeB 薄膜磁性能的影响#
1 1 1 1 2*
张敏刚 ,李敏杰 ,刘丽 ,刘文峰 ,陈峰华
(1. 太原科技大学材料科学与工程学院先进材料研究所,太原 030024 ;
5 2. 太原科技大学应科学院,太原 030024 )
摘要:采用磁控溅射法制备了 Mo/Nd/NdFeB/Nd/Mo 多层薄膜,利用X 射线衍射仪、振动样
品磁强计及原子力显微镜对不同温度退火后的薄膜样品的晶体结构和磁性能进行了测试分
析。结果表明,随退火温度的升高,薄膜的矫顽力与最大磁能积均先增大后减小,其中 630℃
退火的薄膜样品的磁性能及方形度最好。最佳条件下,永磁薄膜面内和垂直方向矫顽力分别
10 达到 21.8 kOe 和 15.2 kOe,最大磁能积分别为 19.0 MGOe 和 11.9 MGOe。
关键词:NdFeB 永磁薄膜,退火温度,相结构,磁性能
中图分类号:TM273
The Influence of Annealing Temperature on the Magnetic
15 Properties of NdFeB Films
1 1 1 1 2
ZHANG Mingang , LI minjie , LIU Li , LIU Wenfeng , CHEN Fenghua
(1. Institute of Advanced Materials, College of Materials Science and Engineering, Taiyuan
University of Science and Technology, Taiyuan 030024, China;
2. College of Applied Science, Taiyuan University of Science and Technology, Taiyuan 030024,
20 China)
Abstract: Mo/Nd/NdFeB/Nd/Mo multilayer thin films were prepared by magnetron sputtering.
The crystal structure and magnetic properties of samples annealed at different temperature were
studied by X-ray diffraction, vibrating sample magnetometer and atomic force microscope. It was
found that the films coercivity and the maximum magnetic energy product increased first and then
25 reduced with increasing the annealed temperature, the film that annealed at 630
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