动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针.pdfVIP

第 50 卷 第 12 期 2001 年 12 月 物 　理 　学 　报 Vol . 50 ,No . 12 ,December ,2001 10003290200150 ( 12) 238205 ACTA PHYSICA SINICA 2001 Chin . Phys. Soc . 动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针 孙家林 　田广彦 　李 　勤 　赵 　钧 　郭继华 (清华大学物理系 ,单原子分子测控教育部重点实验室 , 北京 　100084) 谢爱芳 　张泽渤 ( 中国科学院物理研究所光物理实验室 , 北京 　100080) (2000 年 5 月 23 日收到 ;2001 年 7 月4 日收到修改稿) 　　基于液压传递原理 ,设计出一种用动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针的装置. 实验结果表明 ,在传统的 化学腐蚀法制备光纤探针的过程中 ,通过控制腐蚀液液面的上升速度 ,可以有效地控制探针针尖的形状以及锥角 的大小. 在此基础上 ,还论述了分步控制光纤与腐蚀液液面的相对位移的方法在大锥角光纤探针的制备中所具有 的独特优越性. 利用所制备的大锥角近场光纤探针在扫描近场光学显微镜上对直径为 200nm 的小球进行探测 ,其 ( ) 力学像证实该探针具有较高的形貌分辨率 约为 50nm . 关键词 : 动态化学腐蚀法 , 大锥角 , 近场光纤探针 PACC : 4281P , 0760P , 0779 的形状以及锥角的大小 ,利用这种方法制备的光纤 1 　引 言 探针 ,针尖尺度小于 70nm ,并且可制备多种锥角的 探针. 有关大锥角光纤探针制备的方法 , 国内尚未见 近年来 ,扫描探针显微镜及其家族中的新成员 相关报道. ( ) ———扫描近场光学显微镜 SNOM 正在不断地得以 完善 ,它在物理学 、化学 、材料科学 、生命科学 、光学 2 　化学腐蚀法原理介绍 微加工以及光谱测量等诸多领域里的应用 日益广 [ 1 —5 ] 2. 1 　传统的化学腐蚀法 泛 ;其中利用 SNOM 对纳米尺度的低维介观体 系进行光谱研究 ,将是 SNOM 在新世纪中最具应用 [9 ] 传统的化学腐蚀法 制备光纤探针的原理如图 [6 —8 ] 前景的发展方向 . 如今 ,在纳米尺度的光谱探测 ( ) 1 所示. 腐蚀液 由浓度为 40 % 的氟化氨 NH F 溶 4 中 ,如何有效地提高所采集光谱信息的强度和光学