聚苯胺-多壁碳纳米管薄膜SAWNO2传感器.pdfVIP

2011年 第30卷 第9期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 85 聚苯胺一多壁碳纳米管薄膜 SAW NO2传感器 周 文 ，闫学锋 ，侯成诚 ，李冬梅 ，刘 明1，陈军宁 (1．中国科学院 微 电子研究所，北京 100029； 2．安徽大学 电子技术学院，安徽 合肥 230039) 摘 要：将聚苯胺一多壁碳纳米管聚合物沉积于声表面波 (SAW)气体传感器的敏感区，形成敏感薄膜，实 现了室温下对不同体积分数NO。的检测。研究表明：这种传感器具有很高的敏感性 ，良好的重复性和低 体积分数检测极限。同时，单一聚苯胺薄膜也做了对比测量，实验结果表明：聚苯胺一多壁碳纳米管聚合物 敏感膜比单一聚苯胺薄膜具有更高的敏感性和更短的恢复时间。 关键词 ：声表面波 ；聚苯胺；多壁碳纳米管；气体传感器；NO 中图分类号：TP212．9 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2011)09-0085--03 SAW No。sensorwithpolyaniline．multiwallcarbon nanotubenanocomposites ZHOU Wen’。 YAN Xue．feng ，HOU Cheng．cheng’。 LIDong—mei，LIU Ming，CHEN Jun—ning。 ， ， (1．InstituteofMicroelectronicsofChineseAcademyofSciences，Beijing100029，China； 2．CollegeofElectronicsandTechnology，AnhuiUniversity，Hefei230039，China) Abstract：Polyaniline—multi-walledcarbonnanotubes(MWCNT)polymerdepositedonSAW gassensoris fabricatedfornitrogendioxidedetection．ThepolymerisdepositedontothesensitiveareaofaSAW sensortoofrm anactivelayer．ThesensoristestedondifferentvolumefractionNO2gasatroom temperature．Itisobservedthat thesensorhas a high sensitivity，good repeatability and low detection limit．The sensorwhich hassingle polyanilinefilm isalsostudied．Theexperimentalresultconfirmsthatthesensorbasedonpolyaniline—MWCNTfilm hashighersensitivityandshorterresponsetimethanthesensorwithsinglepolyanilinefilm． Keywords：surfaceacousticwave(SAW)；polyaniline；MWCNT；gassensor；NO2 0 引 言 的研究材料 。 NO 是形成酸雨和光化学烟雾的主要因素之一 ，对环 本文制备了聚苯胺一多壁碳纳米管薄膜，并将这种薄膜 境有着巨大的危害。同时，NO 是一种能够造成人类很多 制作在具有双声路 SAW器件上，提出了一种敏感度高并且 疾病的有毒气体。因此 ，对NO 气体进行检测和测量具有 能在室温下操作的声