光学元件表面频谱分布影响因素的分析方法.pdfVIP

第 32卷 第 5期 应 用 光 学 Vo1．32NO．5 2O11年 9月 JournalofAppliedOptics Sep．2011 文章编号 ：1002—2082(2011)05—0967—04 光学元件表面频谱分布影响因素的分析方法 陈 伟 (西安科技大学 通信与信息工程学院，陕西 西安 710054) 摘 要 ：精密光学系统对光学元件的表面频谱误差的分布提 出了控制要求，在加工 中如何检测 和控制光学元件表面的频谱分布成为一个新的 问题。利用功率谱密度对频率的定量化描述功 能，对检测数据进行样条插值 ，在 同一极坐标系下计算功率谱密度，求取功率谱密度比值信息， 分析小磨具技术的加工工具性能、形状及其运动方式对光学元件表面的频率分布影响。指 出在 加工中合理地改变加工参数可以快速有效地控制元件表面频谱的分布特征。在 670mm大口径 非球 面镜加 工中做 了验证 。 关键词 ：光学检测 ；小磨具加工 (CC0S)；功率谱密度 ；空间频率 中图分类号 ：TN205 文献标志码 ：A Analysisofimpactfactorson frequencydistribution ofopticsurface CH EN W el (DepartmentofCommunicaiton InformationEngineering，Xi’anUniversityof ScienceandTechnology，Xi’an710054，China) Abstract：Theprecision opticalsystem hasincreasinglytightertolerancedemandon opticsfor applicationsinscienceandindustry．Thedetectionandcontrolofthefrequencydistributionof opticalsurfaceisaproblem．Powerspectraldensity (PSD)wasusedasameasuretocharacter— izethefrequency informationaboutopticalsurface．Thewavefrontphasemeasurementdata weretransformedtothedatainthesystem ofpolarcoordinatesbycubicsplineinterpolation， andthePSD’Sratiowascalculated．Theinfluenceofthetoolperformanceand itsmotion in computercontrolledopticalsurfacing(CCOS)techniqueonthefrequencydistributionwasana- lyzed．Itwaspointedoutthatthecharacteristicsoffrequency distribution couldbeefficiently controlled ifthemachining parameterswere selectedproperly，which wasvalidatedby the manufactureprocessofa670mm diameterasphericmirror． Keywords：opticaldetection；computercontrolledopticalsurfacing；powerspectraldensity； spatialfrequency 引言 成和收敛差别很大。研究加工工具及其运动方式 在精密光学系统中大 口径非