硅微通道板的研究进展.pdfVIP

第 32卷 第 5期 应 用 光 学 Vo1．32No．5 2011年 9月 JournalofAppliedOptics Sep．2011 文章编号 ：1002—2082(2011)05—0960—07 硅微通道板的研究进展 黄永刚，黄 英，张 洋，刘 辉 ，李国恩 (中国建筑材料科学研究总院，北京 100024) 摘 要 ：基于微通道板 (microchannelplates，MCP)高性能与绿色制造的要求，探 索铅玻璃微通 道板 (1eadsilicateglassmicrochannelplates，LSG—MCP)的替代材料 已成为 MCP研究的热点。 近20年来 ，以硅为替代材料的微通道板研究取得显著进展 ，并成为最具应用前景的微通道板类 型之一 。综述 了硅微通道板 (Si-MCP)的研究进展 ，主要概述 Si-MCP的基底材料、制备技术、性 能和应用领域，尤其是微孔阵列及其 内壁表面功能层的成形技术。并将其与传统 LSG—MCP比 较 ，分析 了Si—MCP制备技术与性能的优劣。最后 ，展望 了Si—MCP的进一步发展方向。 关键词 ：硅微通道板 (Si—MCP)；制备技术；性能参数 中图分类号 ：TN223；TB321 文献标志码 ：A ProgressinSi。microchannelplates HUANG Yong—gang，HUANG Ying，ZHANG Yang，LIU Hui，LIGuo—en (ChinaBuildingMaterialsAcademy，Beijing100024，China) Abstract：Basedonthedemandsforhighperformanceandgreenmanufactureofmicrochannel plates(MCP)，the developmentofalternativematerialto replace lead silicateglassMCP (LSG—M CP)hasbeenintensivelyinvestigated．Inthepast20years，siliconMCP hasachieved significantprogressandbecomeoneofthemostpromisingM CPs．TheresearchprogressonSi— MCP is summarized in substratematerial，preparation，performanceandapplication． The preparation ofmicroporousarray，thepreparation principleandmethodoffunctionallayerof microporousinnerwallarediscussed．ComparedwiththeconventionalLSG—M CP，theadvan— tagesanddisadvantagesofSi—M CPinpreparationandperformancewereanalyzed．Finally，the prospectofSi—MCP ispresentedforfurtherdevelopment． Keywords：Si—M CP；preparation；performanceparameter 引言 因此 ，传统商用微通道板多是由铅玻璃管经拉制、 MCP是 2O世纪 6o年代发展起来的具备高增 高温熔合、酸蚀 、氢还原而形成的微米级空芯玻璃 益 、低噪声、高分辨率等特性 的电子倍增器件 ，已 管阵列 。然而 ，随着对微通道板 的本底噪声、空间 广泛应用于微光成像、粒子探测等领域 _3]。制备