铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究.pdfVIP

2011年 10月 润滑与密封 0eL201l 第 36卷 第 1O期 LUBRICAT10N ENGINEERING Vo1．36No．10 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2011．10．006 铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究 赵文杰 王永欣 曾志翔 乌学东 陈建敏 薛群基 。 (1．中科院宁波材料技术与工程研究所表面工程事业部 浙江宁波315201； 2．中科院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州730000) 摘要：利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨 (Graphite—likecarbon，GLC)薄膜，采用原子力显微镜、 场发射扫描电镜、x射线光 电子能谱仪、纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌、结构及其机械性能的影响规律；利 用旋转的球 一盘微摩擦试验机考察薄膜的摩擦行为。结果表明：铝的引入使GLC薄膜表面更加平整、致密；GLC薄膜 的硬度和弹性模量随着掺铝量的增加而增加；低载低速时，薄膜摩擦因数随着铝含量的增加而增加，高载高速时，摩擦 因数随铝掺入量的增加明显降低且更稳定。 关键词 ：GLC薄膜 ；AI掺杂；表面结构 ；机械性能；摩擦行为 中图分类号：TH117．1 文献标识码：A 文章编号：0254—0150(2011)10—020—5 ’ Fabricationand Investigation oftheTribological BehaviorsofA1．GLC Films ZhaoWenjie·WangYongxin ZengZhixiang WuXuedong ChenJianmin XueQunji (1．NingboInstituteofMaterialsTechnologyandEngineering，ChineseAcademyofSciences，NingboZhejiang315201， China；2．StateKeyLaboratoryofSolidLubrication，LanzhouInstituteofChemicalPhysics， ChineseAcademyofSciences，LanzhouGansu730000，China) Abstract：Graphite-likecarbonfilms(GLC)dopedwithA1werefabricatedonSisubstratebyusingmediumfrequency magnetron sputteringtechnology．TheinfluencesofA1dopedonmorphology，microstructureandmechanical propertiesof theA1一GLC filmswereinvestigatedbymeansoffieldemission scanningelectronmicroscope，atomicforcemicroscopy， X—rayphotoelectronspectroscopyandnano—indentationtest．Thetribological behaviorsoftheA1一GLCfilmsslidingagainst steelballwereevaluatedonarotary ball—on—disktribometer．Resultsshow thatwiththeincorporationofAIdoping，GLC filmsbecomeverysmoothanddenser，butthehardnessandelasticmodulusofthefilmsincrease．Thetribologicalbehaviors ofGLCfilmsaresignificantlyinfl uencedbythecontentofA1dopingandtestcondition．Atlo