高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １２ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１２ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １２ Ｄｅｃ．２０１０ 　 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１０１２２５５７０７ 　 高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测 张 峰 　 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室，吉林 长春 ） １３００３３ 摘要：为了提高离轴凸非球面反射镜的面形精度和光轴精度，研究了离轴凸非球面反射镜的加工与检测技术。首先，描 述了离轴三反消像散（ ）光学系统以及作为该光学系统次镜的离轴凸非球面反射镜的光学参数和技术指标。然后， ＴＭＡ 介绍了非球面计算机控制光学表面成型（ ）技术及 非球面数控加工设备。最后，给出了非球面研磨阶段检测 ＣＣＯＳ ＦＳＧＪ 用的轮廓测量法和离轴凸非球面抛光阶段检测用的背部透射零位补偿检测法，并对背部透射零位补偿检测中离轴凸非 球面反射镜光轴精度的控制技术进行了研究。检测结果表明：采用背部透射零位补偿检测法检测得到的离轴凸非球面 反射镜的面形精度为 ０．０１７（均方根值，＝０．６３２８ ｍ）；用 Ｌｅｉｃａ经纬仪测量反射镜的光轴精度其结果达到 ９．４″，满足 λ λ μ 光学设计技术指标要求。 关 键 词：凸离轴非球面；计算机控制光学表面成型；轮廓测量；背部透射零位补偿检测；光轴精度 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ７０３ＴＱ１７１．６８ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２５５７ 　　 　　 犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀犪狀犱狋犲狊狋犻狀 狅犳狉犲犮犻狊犲狅犳犳犪狓犻狊犮狅狀狏犲狓犪狊犺犲狉犻犮犿犻狉狉狅狉 犵 狆 狆 ＺＨＡＮＧＦｅｎｇ （ ， 犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犗 狋犻犮犪犾犛狊狋犲犿犃犱狏犪狀犮犲犱犕犪狀狌犪犮狋狌狉犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 狔 狔 犳 狆 狔 犳 犵 犵狔 犵 犳 ， ， ， ， ） 犗 狋犻犮狊犉犻狀