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维普资讯 第24卷 第5期 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2OO4年 9、10月 VACUUMSCIENCEANDTECHNO }GY(C硼 A) 329 TiO2复合薄膜光生亲水及防结雾性能研究 侯亚奇 庄大明 张 弓 孙涛磊 江 雷 吴敏生 (1．清华大学机械工程系 北京 100084；2．中国科学院化学研究所 北京 100080) Photo·InducedHydrophilicityandAnti·Fogging EffectofTianium OxideCompositeFilms HouYaqi，ZhuangDarning ，ZhangGong，SunTaolei，JiangI_eiandWuMinsheng (1．Oe~ ntofMeclmnd ，rsind~ ，~ijing，100084，China； 2．InstituteofChemistry，c^讥 Academyof鼢 ，B ，100080，China) Abstract Tio2，Ag／XiO2andTio2：M filmsweIegrownbymid-frequencyACnlagnellonsputtering．InfluenceofAgandMoO3Oilthe photo-inducedhydrophilicpropertywasstudied．TheresultsshowthatTi02fdmhashighphot-oinducedhydrophieityandanti．fogging property， andthatanincreaseoffilmthicknessmayimproveitsphot-oinducde hydrophilicity．3minutes irradiationofTi02film．800RIBinthick一 ， reducesthewatercontactangletObelow2degree．UVirradiationmayadjustthewatercontactnagleoftheAg／Ti02compositefdmfrom 120to0degree．Whenitc0l懈 tophot-oinducedhydrophilicity，Ti02fdm ismuchbetterthanTi02：MoO3compositefilm． Keywords Titanium oxidethinfilm；Photo-inducedhydrophilicity，Anti—fogging；Ag／TiO2compositefilm 摘要 利用中频交流磁控溅射技术制备了T 薄膜、Ag／TiO2复合薄膜和TiO2：Mo03复合薄膜，研究了T 薄膜的光生 亲水性和防结雾特性 ，讨论Ag及MoO3对T 薄膜光生亲水性的影响。发现：制备的Ti02薄膜有 良好的光生亲水性和防结雾 效果，同时薄膜越厚其光生亲水性越明显。800RIB的Tio2薄膜在 ，rLⅣ辐照3min后其接触角可下降至2o以下。Ag／Ti02复合 薄膜是一种接触角在较大范围内可变的薄膜材料，紫外辐射可使其接触角在 120~到0。间调节。而Ti02：MoO3复合薄膜的光生 亲水性则远比 0)薄膜差。 关键词 Tjo2薄膜 光生亲水性 防结雾 Ag／TiO2复合薄膜 中图分类号：0484．1 文献标识码：A 文章编号：1672—7126(20o4)05—0329一o5 真正清洁的玻璃表面是高度亲水的(即对水的 渐变小直至完全亲水l4．5J。由于光生亲水特性在 自 接触角 0为零)，但在环境空气中，由于吸附污染物 清洁和防结雾领域有着广泛的应用，TiO2薄膜的光 分子，使0值不断增大。当0≥o且玻璃表面温度 生亲水性能在国内外得到了广泛研究 【J。 低于大气所含水汽对应的