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中国科技论文在线
MoO3 薄膜的物化及电致变色性能研究
1 1,2 1 1 1 1 1 1,2**
卞峰苓 ，孙圣男 ，王钇心 ，徐凤 ，王鹤 ，张春鹏 ，陈雷 ，崔海宁
（1. 吉林大学物理学院，长春 130012；
5 2. 肇庆学院电子信息与机电工程学院，广东 肇庆 526061）
摘要：本文主要研究了用蒸发沉积法在 ITO 导电玻璃上镀的 MoO3 薄膜，然后用不同的温
度进行热处理，分别比较了他们的电学特性，光学特性，晶体结构等。实验中通过 MoO3
的循环伏安曲线以及拉曼光谱来更多的了解热处理温度对晶体结构以及锂离子在晶体中嵌
入与脱嵌过程的影响，通过对 MoO3 薄膜的充电电量以及变色后透射率的探索来了解热处
10 理温度对变色性能的影响。
关键词：MoO3；蒸发沉积；晶体结构；变色
中图分类号：O439
The research of physical , chemical and electrochromism
15 properties of MoO3
1 1,2 1 1 1
Bian Fengling , Sun Shengnan , Wang Yixin , Xu Feng , Wang He ,
Zhang Chunpeng1 1 1,2
, Chen Lei , Cui Haining
(1. College of Physics Jilin University, ChangChun 130012;
2. College of Zhaoqing, GuangDong ZhaoQing 526061)
20 Abstract: MoO3 films were fabricated by Radio Frequency (RF) magnetron sputtering on the
glass ,coated with ITO,and then heated at different temperature. They were compared in terms of
electrical properties , optical properties and crystal structure. Cyclic voltammograms and Raman
spectra of MoO3 were studied to know more about the influence to the crystal structure of
MoO3 and the transfer of Li+ in MoO3 by changing sintering temperature. Charge capacity and
25 transmittance was resear
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