晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定.pdfVIP

第27卷 第 11期 Vo1．27 No．11 文章编号：1007一l180(20101l1-0056—05 晶振膜厚监控技术中ToolingFactor的 ， 精确标定 张立超 (中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033) 摘 要：晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段。在晶振监控中．晶振片与镀膜基片上沉积薄膜 厚度的比值，即ToolingFactor是相对固定的。采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对ToolingFac— tor进行精确标定 芩文提 出了精确标定ToolingFactor的方法，并对这种方法进行 了实验验证 结果表明． 该方法能够将膜厚控制误差从～20％降低到6％的水平，从而使多层膜的反射率曲线更加接近设计结果，实现 多层膜膜厚的精确控制 关键词：膜厚控制：晶振监控：ToolingFactor 中图分类号 ：0484．4 文献标识码 ：A DoI：10．3788／0ME0056 AccurateCalibrationofToolingFactorsforQuartzCrystalCoating ThicknessMonitoringTechnique ZHANG Li—chao (StateKeyLd)oraloryofAppliedoptics，ChangchunInstituteofAppliedovtics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033,China) Abstract：Quanzcrystalmonitoringisanimportantmethodtocontrolfilmthicknessesinnon—quanerwavecoatings． Inthismethod，theratioofthicknessesonthecrystalslabandthecoatingsubstrate thatiS，theToolingFactorhasa fixedvalue．ThereforeaccuratecalibrationofToolingFactorsiScriticalforaccuratecontrolofcoatingthicknesses．In thispaper，amethodtoaccuratecalibratingToolingFactorsispresentedtogetherwithvalidatingexperiments．Results showthatfilm thicknesscontrolerrorscanbereducedfrom thelevelof～20％to～6％whentakingthismethod．Thusthe measuredreflectivityCHIVeiSconsistentwiththedesignedone．Theaccuratefilmthicknesscontrolcanberealized． 基金项 目：同家 自然科学基金项 目 (No，国家科技重大专项项 目 皇 卜 第27卷 第1l期 i 烹 ——舅 Vo1．27 No．1】 瞰骥 Keywords：fihnthicknesscontrol；qua~zcr)stalmonitoring；ToolingFactor 1 引 言