开启微纳传感领域的新天地——Transducers2011国际会议综述.pdfVIP

第9卷 第4期 信 息 与 电 子 工 程 VO1．9．NO．4 2011年 8月 INFORMAT10N AND ELECTRONICENGINEERING Aug．，2011 开启微纳传感领域的新天地 Transducers2011国际会议综述 孙旭明，朱福运 ，唐 伟 ，张晓升，袁 泉，张海霞 (JL京大学 微米 ／纳米加_T技术国家重点实验室，北京 100871) 通讯作者 ：hxzhang@pku．edu．cn 摘 要 ：2011年 6月 5日至 9日，第 16届 国际固态传感器 、执行器与微系统会议(Transducers’11) 在北京国家会议 中心隆重召开。此次会议设有微纳传感器 、微加工技术 、生物 、微能源等 12个专题 ， 共录用 743篇文章 ，吸引了来 自世界各地的 1200多位专家 、学者 。本文将从大会特邀报告 、微流体技 术 、圆片级加丁技术 、化学传感器 、微能源装置等角度详细介绍此次会议 的盛况 ，分析相关领域 的研究 现状及发展趋 势 ，并对会议 的影响进行总结和阐述 。 关键词 ：Transducers’11；MEMS；新型传感器 ；微系统 TheNewEraofSensors，ActuatorsandMicroSystems — — OverviewofTransducers’11 SUNXu—uring，ZHUFu—yun，TANGWei，ZHANGXiao．sheng，YUANQuan，ZHANGHai—xia (KeyLaboratoryofScienceandTechnologyonMicro／NanoFabrication，InstituteofMicroelectronics， PekingUniversity，Beijing100871，China) Abstract：The 16th InternationalConference on Solid—StateSensors，Actuatorsand Micro Systems (Transducers’11)washeldinBeijing，ChinaduringJune5-9，2011．IncludingSensors，Actuators，Fabrication， Bio—MEMs．PowerMEMSandseveralothersubjects．743paperswereaccepted．Thisconferencebrought togethermorethan 1200 leading scientistsandresearchersworld．wide todisseminate theirmostrecentand advancedfindings．Inthisreview，thecurrentresearchinmicrofluidics，wafer—levelprocess，chemicalsensors andPowerMEMS wasintroduced．Theprospectoftransducerswasanalyzed．The successofthisconference wouldgreatlypromotethedevelopmentofMEMSinChina． Keywords：Transducers’11；MEMS；Sensors＆Actuators；MicroSystem 1 Transducers’11会议简介 固态传感器 、执行器与微系统 国际会议 (InternationalConferenceon Solid—StateSensors，ActuatorsandMicrosystems，简称 Transducers)