氮掺杂对TiO_2薄膜光学性能的影响.pdfVIP

西北大学学报 (自然科学版) 2010年 l0月，第4O卷第5期，Oct．，2010，Vo1．40，No．5 JournalofNorthwestUniversity(NaturalScienceEdition) 氮掺杂对 TiO2薄膜光学性能的影响 江洪湖，范海波，王俊哲，李 倩，姚合宝 (西北大学 物理学系，陕西 西安 710069) 摘要：目的 研究氮掺杂对TiO：薄膜的折射率、透过率、吸收光谱和光学禁带宽度的影响，寻找最 佳的掺N量，通过掺N来提高TiO 薄膜对可见光的敏感度。方法 用射频磁控溅射方法在玻璃 衬底上，控制氩气和氮气的流量比，生长出不同氮含量的TiO 薄膜。结果 适量地掺杂可以提高 薄膜的折射率；氮掺杂的TiO 薄膜的光学吸收边发生了明显的红移现象；可见光吸收带中存在肩 峰的根本原因是出现了新的氮的2p能级。结论 通过适量的氮掺杂可以有效地减小TiO 薄膜的 光学禁带宽度，从而提高TiO2薄膜对可见光的响应和太阳光的利用效率，拓宽了TiO：薄膜在太阳 能电池、光催化降解及建筑材料等方面的应用。 关 键 词：TiO：薄膜；透射光谱；吸收光谱；禁带宽度；氮掺杂 中图分类号：0433 文献标识码 ：A 文章编号：1000．274X(2010)05-0764-04 InfluencesofnitrogendopingonopticalpropertiesofTiO2film JIANGHong．hu，FANHai-b0，WANGJun—zhe，LIQian，YA0He—bao (DepartmentofPhysics，NorthwestUniversiyt，Xian710069，China) Abstract：Aim Tostudyinfluencesofnitrogendopingon therefractiveindex，transmittance，absorptionspectra andopticalbandgapofTiO2thinfilm tofindthebestamountSOastoenhancethesensitivitytovisiblelight．M eth- ods TiO2 N thinfilmswerepreparedonglasssubstratesbyRFmagnertonsputtering，controllingtheflowratioof 一 argonandnitrogen．Refractiveindexofthesamples，transmissionspectraandabsorptionspectraofthinfilmswere studied，aswellasthecalculationofbandgap．Results Therightamountofdopingcanincreasetherefractivein- dexofthinfilms；nitrogen·dopedTiO2thinfilmshavetakenplaceintheopticalba soprtionedgeoftheredshiftsig- nificantlyfrom thetransmissionspectrum andhteabsoprtionspectra；therootcausesoftheexsitingacromioninthe visiblerangeabsoprtionbandistheemergenceofanewN 2pleve1．Conclusion Theadoptionofanappropriatea— mountofnitrogendopingcaneffectivelychangetheTiO2thinfilm opticalbandgap，therebyenhancingtheTiO2 film onthevisiblelightresponseandhteutilizationefficiencyofsunlighttobroadentheTiO2thinfilm solarcellsin thephotocatalyticdegradationandconsturctionmat