355状犿增透膜的设计、制备与性能.pdfVIP

中 国 激 光 第 卷 第 期 　 　 　 ， ３５ １２ Ｖｏｌ．３５ Ｎｏ．１２ 　 　 年 月 ， 　 ２００８ １２ ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＡＳＥＲＳ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ２００８ 文章编号： （ ） ０２５８７０２５２００８１２２０２６０５ 　　 ３５５狀犿增透膜的设计、制备与性能 ， ， ， １２ １２ １２ １ １ １ １ 余 华 崔 云 申雁鸣 齐红基 易 葵 邵建达 范正修 　 　 　 　 　 　 　 　 　 １ ２ （中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 ２０１８００；中国科学院研究生院，北京 １０００３９） 摘要 用热舟蒸发法结合修正挡板技术制备了 ／ 增透膜，并对部分样品进行了真空退火。采用 ３５５ｎｍＬａＦ Ｍ Ｆ 　 ３ ｇ２ 光谱仪测试了增透膜的低反光谱和透射光谱，并考察了其光谱稳定性；使用脉冲 的 激光测 Ｌａｍｂｄａ９００ ８ｎｓ ３５５ｎｍ 试了增透膜的激光损伤阈值（ ）；采用 显微镜对增透膜的表面缺陷密度和破斑形貌进行了观察。实 ＬＩＤＴ Ｎｏｒｍａｒｓｋｉ 验结果表明，制备得到的增透膜的剩余反射率较低，光谱稳定性好；真空退火对增透膜的激光损伤阈值没有改善； 增透膜的破环形貌为散点形式，结合破斑深度测试表明薄膜的破坏源于薄膜和基底界面的缺陷点。ＪＧＳ１熔石英 基底由于有好的表面状况、固有的高激光损伤阈值和以其为基底的增透膜具有更低的表面场强，使得其上的增透 膜有更高的抗激光损伤能力。 关键词 薄膜；增透膜；热舟蒸发；真空退火；激光损伤阈值 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４８４．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＣＪ２０２６ 　 　　　 　 　　　 ， 犇犲狊犻狀 犘狉犲犪狉犪狋犻狅狀犪狀犱犆犺犪狉犪犮狋犲狉犻狕犪狋犻狅狀狅犳３５５狀犿犃狀狋犻狉犲犳犾犲犮狋犻狅狀犆狅犪狋犻狀狊 犵 狆 犵 ， ， ， １２ １２ １２ ＹｕＨｕａ ＣｕｉＹｕｎ ＳｈｅｎＹａｎｍｉｎ 　 　 ｇ