离子束诱发沉积Pt纳米结构的研究.pdfVIP

广 东 化 工 2009 年 第 8 期 · 12 · 第 36 卷 总第 196 期 离子束诱发沉积 Pt 纳米结构的研究 钱海霞，曾燮榕 (深圳大学 材料学院 深圳市特种功能材料重点实验室，广东 深圳 518060) [摘 要]文章采用聚焦离子束诱发沉积的方法在 Si 表面制备了周期性的 Pt 纳米结构，利用扫描电子显微镜研究了离子束流和沉积时间对纳 米结构的影响。本研究对于实现纳米结构的可控沉积具有学术参考价值。 [关键词]聚焦离子束；离子束诱发沉积；纳米结构 [中图分类号]TQ [文献标识码]A [文章编号]1007-1865(2009)08-0012-01 Pt Nanostructures Prepared by Ion Beam Induced Deposition Qian Haixia, Zeng Xierong (Shenzhen Key Laboratory of Special Functional Materials, College of Materials Science and Engineering, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China) Abstract: Periodic Pt nanostructures were fabricated by means of focused ion beam (FIB) induced deposition. The influence of ion beam current and irradiation time were investigated using SEM. The study was of significance to the controllable deposition of nanostructures. Keywords: focused ion beam；ion beam induced deposition ；nanostructure 聚焦离子束是微电子与半导体行业的强大工具，广泛应用 7 nm ，离子束的入射角度和辐照剂量可连续调节。前驱物 于掩模修整、电路修改和失效分析等领域[1-3] 。聚焦离子束是 C9H16Pt 被用作沉积 Pt ，离子束诱发沉积 Pt 纳米结构的过程如 把束斑聚焦到亚微米甚至纳米级尺寸，通过偏转系统实现微细 图 1 所示。用于沉积的电压固定为 30 kV 。离子束的辐照方向 束加工的技术。聚焦离子束(FIB)能够进行纳米结构的直接写 与基体表面呈 90˚。扫描电子显微镜对沉积得到的纳米结构进 入[4-5] ，利用离子束与材料的作用过程还能够自发形成规则的 行了形貌表征，见图 1。 周期性纳米结构[6] 。此外，聚焦离子束还能够实现金属和绝缘 2 结果与讨论 材料的沉积[7-9] 。通过样品室中安装的气体注入系统将金属有 为了沉积出纳米线阵列，在工作窗口定义了 20 条长度为 机物气体喷涂到样品上待沉积区域，高能离子束的轰击导致有 10 µm 的线，线与线之间的间距为 500 nm 。采用串联写入的 机物发生分解，分解产物中的固体成分沉积到表面，而可挥发 方法运用电流为 10 pA 的离子束在 Si 片上以不同时间沉积得 的气体部分被真空系统抽走。目前用于沉积的主要前驱物有