原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 27 卷 第 3 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 27 No. 3
2012 年 3 月 Journal of Inorganic Materials Mar., 2012
文章编号: 1000-324X(2012)03-0301-04 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.00301
MBE 法生长 ZnO 纳米线阵列的结构和光学性能
郑志远, 陈铁锌, 曹 亮, 韩玉岩, 徐法强
(中国科学技术大学 国家同步辐射实验室, 核科学技术学院, 合肥230029)
摘 要: 在氧等离子体辅助的 MBE 系统中, 以 1 nm 厚的 Au 薄膜为催化剂, 基于气−液−固(VLS)机制实现了低温
ZnO 纳米线阵列在 Si(111)衬底表面的生长. 通过场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)可以观察到, ZnO 纳米线阵列垂
直生长在衬底上, 直径为 20~30 nm. X 射线衍射(XRD)和高分辨透射电镜(HRTEM)结果表明: ZnO 纳米线为六方纤
锌矿结构, 具有沿 c 轴方向的择优取向. 光致发光(PL)谱显示在 380 nm 附近有强烈 ZnO 本征发射峰, 475~650 nm
可见光区域有较强的缺陷导致的发射峰.
关 键 词: ZnO; 纳米线; 分子束外延; VLS
中图分类号: O471 文献标识码: A
Structure and Optical Properties of ZnO Nanowire Arrays Grown by
Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy
ZHENG Zhi-Yuan, CHEN Tie-Xin, CAO Liang, HAN Yu-Yan, XU Fa-Qiang
(National Synchrotron Radiation Laboratory, School of Nuclear Science and Technology, University of Science and Techonol-
ogy of China, Hefei 230029, China)
Abstract: ZnO nanowire arrays were grown on the Si(111) substrates coated with 1 nm Au catalyst by plasma as-
sisted molecular beam epitaxy (MBE) through Vapor-Liquid-Solid (VLS) growth mechanism at low temperature.
Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM) reveals that ZnO nanowire arrays grow densely and vertically
to the substrate surface with the average diameter of 20−30 nm. The structure properties of ZnO nanowires are
measured
文档评论（0）