玻璃基掩埋式光波导堆栈的制作与表征.pdfVIP

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2017-09-11 发布于重庆
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玻璃基掩埋式光波导堆栈的制作与表征.pdf

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第 27 卷第 9 期无机材料学报 Vol. 27 No. 9 2012 年 9 月 Journal of Inorganic Materials Sep., 2012 文章编号: 1000-324X(2012)09-0906-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.11687 玻璃基掩埋式光波导堆栈的制作与表征郑斌, 郝寅雷, 李宇波, 杨建义, 江晓清, 周强, 王明华 (浙江大学信息与电子工程学系, 杭州310027) + + 摘要: 在硅酸盐光学玻璃基片上制作了光波导堆栈, 这种光波导堆栈通过 Ag /Na 熔盐离子交换和电场辅助离子扩散技术顺次制作了两层掩埋式光波导. 对光波导堆栈的横截面显微结构进行了观察, 并对堆栈中两层波导的损耗特性进行了测试. 所获得的光波导堆栈中的上、下两层波导芯部分别位于玻璃表面以下 14 和 35 μm 处; 上层光波导芯部尺寸约为 12 μm×7 μm; 下层光波导芯部尺寸约为9 μm×8 μm. 通光测试显示两层波导在 1.55 μm 工作波长下均为单模光波导, 且两者之间没有相互耦合. 损耗测试分析结果显示: 堆栈中两层光波导的传输损耗均约为0.12 dB/cm,与单模光纤之间的耦合损耗分别为 0.78 和 0.73 dB. 分析表明, 这种光波导堆栈在玻璃基集成光芯片的高密度集成方面具有很好的应用前景. 关键词: 玻璃; 离子交换; 光波导; 堆栈中图分类号: TN252 文献标识码: A Manufacturing and Characterization of Buried Optical Waveguide Stack in Glass Substrate ZHENG Bin, HAO Yin-Lei, LI Yu-Bo, YANG Jian-Yi, JIANG Xiao-Qing, ZHOU Qiang, WANG Ming-Hua (Department of Information Science Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) Abstract: On silicate optical glass substrate, buried optical waveguide stacks were obtained. The stacks were com- posed of two layers of buried optical channel waveguide at different depth beneath the glass substrate surface, and each layer was manufactured by thermal Ag+ + /Na ion-exchange and field-assisted ion-diffusion. Microstru