基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器-第28卷第2期.pdfVIP

维普资讯 第28卷 第2期 固体电子学研究与进展 Vo1．28，No．2 2008年 6月 RESEARCHPROGRESSOFSSE Jun．，2008 基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器 马绍宇 韩 雁 董树荣 李 侃 周海峰 (浙江大学微 电子与光 电子研究所 ，杭州 ，310027) 2007—08—02收稿 ，2007—09—14收改稿 摘要：提出了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振 (Thinfilmbulkacousticresonator，FBAR)质量传感 器。薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(GHz数量级)，同时具有很高的品质因数 ，因此基于这种器件的质量传感器 具有非常高的质量灵敏度。提出了三对全金属A1一w 层作为布拉格声学反射层的FBAR，采用A1N作为压电层 ，制备 出了固态装配型FBAR传感器。通过淀积不同厚度A1层顶 电极 ，对器件的质量灵敏度进行了分析，得到质量传感器 串联谐振频率在2．8GHz附近，质量响应度达到 5×10 ng／Hz／cm ，可以实现分子量级的质量传感。 关键词 ：质量传感器 ；薄膜体声波谐振器 ；灵敏度 ；固态装配型谐振器 中图分类号 ：TN45 文献标识码 ：A 文章编号 ：i000—3819(2008)02—304—04 A M assSensorwithHighSensitivityBasedonThinFilm Bulk AcousticResonators MA Shaoyu HAN Yan DONG Shurong LIKan ZHOU Haifeng (InstituteofMicroelectronicsandPhotoelectronics，ZhejiangUniversity，Hangzhou，310027，CHN) Abstract：A masssensorbasedon thinfilm bulkacousticresonator (FBAR)，intendedfor biomolecularapplications，ispresented．A highmasssensitivityisachievedforthehighoperating frequency (severalGHz)andqualityfactor(Q)oftheFBAR．A new Braggacousticreflectoris designedwiththreeA1一W pairs．Thesolidlymountedfilm bulkacousticresonatorsarefabricated withanA1N layerasthepiezoelectricthinfilm．Themasssensitivityofthedeviceon itssurface isinvestigatedbyusingvariousthicknessofA1top—electrodelayer．Themasssensorhasaseries resonancefrequencyof2．8GHzandmassresponsivityof5X10一ng／Hz／cm perareawithwhich molecular—masssensitivityisachieved． Keywords：masssensor；thinfiim bulkacousticresonator；sensitivity；solidlymountedres— onator EEACC ：7230M 是因为声波谐振传感器具有高质量变化灵敏度，易 引 言 于封装 ，而且制造成本低