铝膜电导率尺寸效应对其微波性能的影响.pdfVIP

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2017-09-11 发布于江西
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第44卷第9期金属学缎 Vbl．44No．9 ACTAMETALLURGICASINICA 104 2008年9月第1099--1104页 Sept．2008PP．1099-1 铝膜电导率尺寸效应对其微波性能的影响木刘志敏杜昊石南林闻立时 (中国科学院金属研究所材料表面工程研究部，沈阳110016) 摘要采用中频磁控溅射法(MFMS)制备不同厚度的铝膜；利用直线型四探针法测量不同厚度铝膜的电导率，研究了铝薄膜直流电导率随厚度的变化关系(尺寸效应)；用矢量网络分析仪测量了铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构微波吸收率；研究了电导率尺寸效应对铝膜微波吸收性能的影响．结果表明：薄膜厚度对铝膜的电导率有明显影响；在铝膜与FR4环氧树脂玻纤板复合结构中，铝膜电导率的变化对复合结构的吸收率峰值影响不大，但对与吸收峰值对应的铅膜厚度影响显著．利用传输矩阵方法验证了实验结果．关键词铝膜，电导率，尺寸效应，微波吸收率，传输矩阵法中图法分类号0484．5，TB43文献标识码A 文章编号0412—1961(2008)09—1099-06 SIZEEFFECToN INFLUENCEoFCONDUCTIVITY THEMICRoWAVEABSORPTIoNPRoPERTIES OFALUMINIUMFILMS LIUZhimin．DUHao．SHlN吐nlin．wENLishi InstituteofMetal of 110016 Research，ChineseAcademySciences，Shenyang Correspondent：wEN received2008_田1—18．inrevisedform2008-0430 Manuscript ABSTRACTAluminumfilmswithdifferentthicknesseswere onPETsubstratemid— deposited by theirDC aremeasuredlinearfour frequencymagnetron conductivity using sputtering(MFMS)，and method．Themicrowave ofthe fabric pointprobe absorptionpropertiesA1／FR4EGFL(epoxyglass structurewerecharacterizedvectornetwork resultsindicatedthat laminate¨ayered by analyzer．The thesizeectof hasa influenceonmicrowave ofthe conductivitypronounced absorptionproperties thinaluminumfilm．whichwereverifiedtheoreticalcalculationwithtransfermatrixmethod． by KEY WoRDSaluminum matrix film，conductivity，si