纳米TiO2薄膜的脉冲激光沉积及其光学特性.pdfVIP

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2017-09-11 发布于江西
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第23卷第5期光机材料学报 V01．23．NO．5 of Journal Materials 2008年9月 Inorganic Sep．，2008 文章编号：1000—324X(2008)05—1070-05 纳米Ti02薄膜的脉冲激光沉积及其光学特性龙华，杨光，陈爱平，李玉华，睦培祥 (华中科技大学武汉光电国家实验室，武汉430074) 摘要；采用脉冲激光沉积技术(PLD)在硅基片上生长了二氧化钛纳米晶氧化物薄膜，系统讨论了基片温度、氧分压等鼹素对薄膜结梅持馕懿影嚷。 x瓣线衍射结果表瞬囊氧气氛下，生长酶薄膜先锐钦矿缨魏，其结菇惶隧着蕊片温度懿舞嵩{嚣增强，在750。C，5Pa氧基酶情穗下为完全C轴承尚的铙铁矿穰Ti02薄膜，在 750。C、5Pa氯气氛下则为(110)取向的金红石榴薄膜．场发射扫描电子显微镜结果表明薄膜表面教密。呈纳米晶结构，其隔粒尺寸在35nm左右．用傅立叶红外光谱和拉曼光谱对不同条件下制备的Ti02薄膜进行了表征。紫外一可见透射光谱的测试结果表明，薄膜在可见光区具有良好的透过率，计蘑得到制备的锐钛矿和金红改变可得裂结晶性能秘光学谯麓都不丽的繁02薄貘。关键词：Ti02薄膜；脉冲激光沉积；锐钛矿；金红石中图分类号：0484，0433，0766文献标识码；A PulsedLaser of Filmsandits DepositionNanocrystalTi02 OpticalProperties LONG Hua，YANGGuang，CHENAi—Ping，LIYu—Hua，LUPei—Xang National for Laboratory Scienceand (Wuhan Optoelectronics，HuazhongUniversi移of 43∞74，China) Abstract：Titaniumdioxide fihnswere onsiliconsubstrates laser nanocrystaldeposited usingpulsed of method．Theinfluencessubstrate andthekindsof deposition temperature，oxygenpartialpressure onthe structurethinfilmswere of discussed。The offilmswere gas crystal Ti02 opticalproperties studiedmeansoftransmissioninUV-visible transforminfrared and by spectra range，Fourier spectra Raman resultsshowthatthefilmsare C-axis—orientedanatase spectra．The high rutile atthesubst