平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析.pdfVIP

第29卷，第2期 光谱学与光谱分析 2009年2月 and February，2009 SpectroscopySpectralAnalysis 平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析 王 芳1’2，齐向东1，于宏柱1，于海利1’2 L。中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033 2．中国科学院研究生院，北京100039 摘要设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统。它采用连续光源照明，运用双 联光栅光谱仪的结构型式，以N沟道增强型场效应管阵列(线阵NMOS)作为光电接收器件。运用光栅光谱 仪的相关原理，对系统的测试原理进行了理论分析；并对光学系统进行了像质分析。分析得出，系统装置结 构紧凑，电子学系统简化；不存在保证两光栅光谱仪的波长扫描同步问题，具有很好的波长重复性，精度易 于保证；较之以往文献中的自动化方案制造成本降低，且操作简便，工作效率提高。研究结果表明：该测试 100 nlTl， 仪工作光谱范围为190～inIn，覆盖了大多数常用光栅的应用波长范围；且系统光谱分辨率小于3 完全满足设计要求，是一种经济可行的方案。 关键词 平面反射光栅；相对衍射效率；光栅光谱仪；线阵NMOS；像差 文献标识码：A 中图分类号：TH744．1；TB96 效率曲线。这种方法虽然波长精度高，但是，由于可用的标 引 言 准谱线数量有限，只能测量分立波长的衍射效率。 在20世纪末，国内曾有过几篇关于平面光栅衍射效率 平面衍射光栅是目前应用最为广泛的色散元件，是各种 自动测试仪的报道。其中，浙江大学光学仪器系的林中 光谱仪器的核心器件。衍射效率是光栅最重要的性能指标之 等[3’43于1987年研制了一套工作波长范围为可见光和近红 一，也是决定光谱仪器能量特性的基本因素。光栅衍射效率 外区域(O．4～2．5肛m)、微机控制的连续扫描自动测试平面 通常有两种定义，即相对衍射效率与绝对衍射效率．前者定 反射光栅衍射效率的仪器。但是，由于此仪器对衍射光通量 义为单色入射光在给定光谱级次中的衍射光通量与同一单色 和反射光通量的测量不同步，因而未能很好地解决实时测量 光经与光栅具有相同孔径的标准平面反射镜反射后的光通量 问题，并且还需要不断地移入移出反射镜、更换前置单色器 之比；后者定义为给定光谱级次中单色衍射光通量与入射光 的光栅使之与待测光栅相同，操作不够方便。于是，1994年 通量之比；光栅光谱衍射效率曲线指的是光栅衍射效率对波 苏州大学物理系的印建平[5“]基于浙江大学的设计思想，提 长的函数关系。 出了一种既能测试平面光栅相对衍射效率，还能测试绝对衍 光栅衍射效率的检测至关重要，不仅从光栅的研制和生 射效率，采用二次衍射方法在测量单色器内构成色散相减双 产的角度必须测试衍射效率随波长的变化，得出衍射效率曲 单色仪系统的改进方案，前置分光光栅与待测光栅刻槽密度 线，以控制和改善光栅的质量。还由于存在着“伍德异常” 可以不同。但是，存在沿信号通道和沿参考通道的光谱带宽 (Woodanomaly)问题，更有必要对光栅进行实际检测，发现不相等、仪器常数测试与衍射效率测试时间间隔过长等问 异常的所在，以便和光栅理论所预计的结果进行比较，促使 题。长春光机所齐向东口3采用一种全新的技术方案来研制全 光栅理论的发展和