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第23卷第3期 无机材料学报 V01.23,No.3
Journalof Materials
2008年5月 Inorganic May,2008
文章编号:1000-324X(2008)03—0535—05
CuSCN薄膜的室温液相沉积及其光学性能
高相东,李效民,于伟东,邱继军,甘小燕
(中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海200050)
CuSCN半导体薄膜,以x射线衍射,扫描电镜、光学透过谱考察了所得薄膜的晶体结构、微观表面断面形貌和
光学性能,探讨了影响CuSCN薄膜沉积的关键因素.结果表明,所得薄膜具有明显结晶性及沿c轴择优生长趋
摩尔比、衬底漂洗方式和生长温度等因素影响显著,高络离子浓度、多次沉积反应后再进行衬底漂洗、以及室
温生长条件有利于得到高质量的CuSCN薄膜.
关 键 词t CuSCN;薄膜;连续离子层吸附与反应;SILAR;光学性能
中图分类号,0484文献标识码:A
CuSCNThinFilm fromSolutionsatRoom
Deposited Temperature
andits
OpticalProperties
GAO Xiao-Yan
Xiao-Min,YU Ji—Jun,GAN
Xiang-Dong,LI Wei-Dong,QIU
Labof PerformanceCeramicsand Instituteof
Superfine Ceramics,
(StateKey High Microstructure,Shanghai
Chinese of
AcademySciences,Shanghai200050,China)
Abstract:CuSCNthinfilmwas on substratefromsolutionsatroom
depositedglass temperature
thesuccessiveionic and
(20-250C)by layeradsorption crystalline
of filmwerecharacterized
obtained
structure,morphology,andopticalproperties byX-raydiffraction,
electron transmittance.The the
scanningmicroscope,andoptical keyparametersinfluencingdeposition
of substratediscussed CuSCNfilmexhibitsobvious
CuSCNon were briefly.The
tialorientation denseanduniform classesofCuSCN are
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