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第23卷第1期 无机材料学报 V01．23．No，1
2008年1月 Journalof Materials Jan．．2008
Inorganic
文章编号：1000—324X(2008)01—0165—06
酸洗和热氧化对氮化硅粉料表面特性与浆料流变性能的影响
代建清1，一，黄 勇2
(1．昆明理工大学材料与冶金工程学院，昆明650093；2．清华大学材料科学与工程系，北京
100084)
摘要：选用四种商业氮化硅粉料(其中FDl、FD2和Mll均由硅粉直接氮化法合成但后处理工艺不同，而
UBE粉的合成采用亚胺基硅热分解法)，系统研究了酸洗和热氧化处理对其表面特性和水基浆料流变特性的影
响．研究表明，表面基团的种类和数量、可溶性高价反离子浓度以及离子电导率是影响氮化硅粉料在水中分散
性能的关键因素． FDI粉料分散性能差的原因是可溶性高价反离子浓度太高，FD2粉料分散性能差的关键
是颗粒表面存在Si一0一C—R憎水基团，Mll粉料分散性能不好源于离子电导率过大，而UBE粉料表面的大量
Si—O—Si基团是其分散性能差的限制性因素．经表面改性处理的四种氮化硅水基浆料具有良好的流变特性．
关键词：氮化硅粉料；分散性；酸洗；热氧化
中图分类号：TQl74文献标识码：A
Effectsof andThermalOxidationonSurface
Acid—leaching
and of
SiliconNitridePowders
AqueousDispersibility
DAI
Jian—Qin91，一．HUANGYon92
ofMaterialsand ofScienceand
(1．Faculty MetallurgicalEngineering，KunmingUniversity
ofMaterialsScienceand
650093，China；2．Department Engineering，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China)
Abstract：Influencesofacid andthermaloxidationon were
leaching aqueousdispersibilityinvestigated
for of their
four commercialsiliconnitride with DRIFT and
types powders，inconjunction spectra
solublecounter—ions．Threeofthe to andMl thedirect
powders，referredFDI，FD2 l，wereproducedby
silicon with UBE
nitridationof different the wasmade
powder pulverizationprocesses，whilepowder
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