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中国表面工程2004 年第6 期(总第69 期) 7 基于功率谱分析的表面涂层厚度超声无损测量方法* 1 1 1 2 徐志辉 ，林 莉 ，李喜孟 ，雷明凯 （1.大连理工大学 无损检测研究所，辽宁 大连 116024; 2.大连理工大学 材料工程系，辽宁 大连 116024） 摘 要：针对厚度小于 1 mm 的薄膜或涂层材料，研究了一种超声测厚信号处理方法。当超声波在两层或多层介质中 传播时，不同界面的回波信号会相互叠加并发生干涉。当超声波在厚度L、声速ν、声阻抗Z2 的介质(介于声阻抗分别 为Z 和Z 的两介质之间)中传播，由于界面回波的叠加与干涉，回波信号的功率谱在频率为f =ν /4L 的奇数或偶数倍 1 3 0 处出现周期性极值点。因此，当声速ν 已知，待测试样的厚度L 可由关系式L=ν /2△f 来求得。其中，△f 是相邻两极 值的频率间隔。根据该原理，采用水浸聚焦脉冲回波超声检测方法，对镍基高温合金基体上的ZrO2 热喷涂涂层（270~400 ìm）进行了厚度测试，试验结果与金相法测试结果相符。 关键词：表面涂层；频谱分析；干涉；超声水浸聚焦；超声测厚 中图分类号：O848.5 文献标识码：A 文章编号：1007–9289(2004)06–0007–03 The Method of Ultrasonic Thickness Measurement for Surface Coatings Materials Based on Spectral Analysis 1 1 1 2 XU Zhi-hui , LIN Li , LI Xi-meng , LEI Ming-kai (1. Nondestructive Testing Evaluation Laboratory, Dalian University of Technology, Dalian 116024 China; 2. Surface Engineering Laboratoty, Dalian University of Technology, Dalian 116024 China) Abstract: The signal processing method of ultrasonic thickness measurement has been investigated for the film or coating materials less than 1mm. When ultrasonic waves are reflected at different interfaces, they interfere with each other. Provided there is a medium with thickness L, sound velocity ν, acoustic impedance Z between two mediums with acoustic impedances 2 Z and Z , and depending on the interference of echoes from different interfaces