面向智能高速机床的高频响加速度计研究.pdfVIP

振动 测试与诊断 第 卷增刊 、 ３３ １ Ｖｏｌ．３３Ｎｏ．Ｓ１ 年 月 ２０１３ ５ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＶｉｂｒａｔｉｏｎ，Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ＆Ｄｉａｇｎｏｓｉｓ Ｍａｙ２０１３ 面向智能高速机床的高频响加速度计研究 孙 禄 赵玉龙 刘 岩 ， ， 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安 （ ，７１００５４） 摘要 针对智能高速机床对高频响 微振动检测的需要 提出并研制了一种基于双桥梁结构的高频响微加速度传 、 ， 感器 利用 静态与模态仿真 分析了双桥梁结构的应力状态和固有频率 一阶固有频率为 达到了预 。 ， ， １１８ ， Ａｎｓｙｓ ｋＨｚ 定的设计要求 结合 湿法刻蚀工艺与硅玻璃键和技术得到传感器样品 静态实验结果表明 双桥梁结构加 。 ＭＥＭＳ 。 ， 速度传感器在 的稳压电源下主轴灵敏度达到了 非线性度为 迟滞为 动态标定系统 ３ ０２６４ 燉， ０６７％， ２６９％。 Ｖ ｍＶ ｇ 测试表明 传感器动态响应频率达到 满足智能机床主轴在转速达到 时的高频响测量要求 ， １２４６ ， ６０ 燉 。 ｋＨｚ ｋｒｍｉｎ 关键词 智能高速机床 双桥梁结构 加速度传感器 振动监测 ； ； ； 中图分类号 ＴＰ２１２１ 低 抗电磁干扰能力强 频率范围宽等特点［７８］ 随 ， ， 。 引 言 着半导体集成电路工艺的发展和微机械加工技术的 成熟 压阻式加速度计增加了 自检功能和集成 ， 电路 可以较好地满足机床主轴振动检测的 随着智能高速机床技术的发展 融合 传 ＣＭＯＳ ， ， ＭＥＭＳ 感器技术 实现高速机床的智能感知 分析 决策 执 要求。 ， 、 、 、 当高速机床主轴转速达到 时 为了