半导体工业真空泵油的处理与再造利用.pdfVIP

维普资讯 _ spcialE~￡半导体材料与饿鲁 半导体工业真空泵油的处理与再造利用 许蔓秋 ，汤卫 民 (1杜邦中国集团有限会司北京办事处，北京 100004 2．上海泰特实业有限公司，上海 200120) 摘要：介绍了半导体工业真空泵油．在对其性能特点进行比较的基础上 ，着重对杜邦全氟聚醚油的 性 能 、特 点做了介绍 ．并提出利用方 案。 关键词 ：真 空泵 油：全氟 聚醚油 ：特 性：再造 利用 中图分类号：TB742 文献标识码：B 文章编号 ：1003-353X(2002)03-0029-02 因此，PFPE是半导体工业真空泵油的最佳选 1 概述 择，能够完全满足半导体工业 中安全性、可靠性 半导体工业在硅片加工过程中，必须使用真 以及环保等要求 空泵 。真空泵油通常有两种 ：碳 氢化合物油 (Hydrocarbon)与全氟聚醚油 (PFPE)。 2PFPE油一 KRYTOX。 碳氢化合物油极 易燃烧 ，化学结构不稳定 ． 美国杜邦公司KRYTOx。系列产品摄初的研发 容易降解 ，使得润滑性能容易降低 ，从而导致真 是起源于航天计划 ，比如阿波罗登月计划 的导航 空泵出现故障。尤其 因频繁地更换真空泵油，包 系统用的润滑剂 ，并首获成功。随后应全世界半 括停机维修时间的增加 ，而影响生产效率 。而 导体工业的需求，杜邦公司KRYTOX~VPF系列产 且．碳氢化合物油的可燃性也导致安全隐患，频 品得到所 有主要真空泵制造 商如 LeYBOid， 繁更换真空泵油 ．存在大量的废弃物，对于环保 Edwards．Ebara等的认可，均符合或超过所有主 方面是非常不利的。总之 ，许多方面均会导致运 行成本 的上 升 。 要泵制造商有关 品质担保 的要求。 全氟聚醚油 (PFPE)分子链饱和 ，不含氢元 杜邦KRYTOX。具体性能如下： 素 ，化学性能特别稳定 ，抗强氧化剂 ，与氧相 ◆ 化学稳定性：KRYTOX~VPF化学性能非 容 ，不可燃 ，耐强酸 、强碱等化学物质 ，高温 常稳定，耐强酸，包括极强的路易氏酸，耐强碱 。 性能稳定 ，并具有极低 的蒸发速率和 良好 的润滑 性能非常稳定，与接触的任何特种气体如氟气． 性能 。不仅安全 ，且使用寿命长 。 Sil1等，强腐蚀性物质．强氧化剂，还原剂等均 半导体工业在芯片加工过程中必须使用一些特 不发生反应 ； 殊的气体与某些具有毒性 的强氧化剂 ，因而要求 ◆ 不燃烧性：KRYTOX。分子结构中不合氢 在工艺加工过程 中广泛使用的真空泵具有非常优越 元素 ，耐氧化 ，不会燃烧 ，无 闪点．无燃 点， 的适应性 ，PFPE因其优异性能而得到广泛使用 。 可避免任何火灾的隐患．达到半导体行业安全性 尤其在消除火灾或爆炸 的危险隐患等方面更是性能 的要求 ： 卓越 。世界 著名 的真 空泵 制造 商 ，如莱 宝 ◆ 热稳定性：极低的蒸发率和曦算搴1能够 (LeyBold)．爱德华 (Edwards)均使用PFPE油